[发明专利]一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置在审
| 申请号： | 202010055161.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN113138538A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亚冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 浸没 光刻 浸液 供给 回收 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，包括主体、抽排开口、注气开口以及缓冲腔，其特征在于：所述抽排开口沿周向布置于主体朝向衬底的一面；所述注气开口沿周向布置于所述抽排开口的径向外侧；所述缓冲腔设置于所述抽排开口与所述注气开口之间，与所述抽排开口连通并位于其末端。
2.根据权利要求2或3所述的用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述注气开口到所述浸液供给回收装置外边缘的距离至少是所述注气开口到所述抽排开口的距离的4倍。
3.根据权利要求1所述的用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述缓冲腔与所有抽排开口连通。
4.根据权利要求1所述的用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述缓冲腔具有适应弯液面形状的弯曲边缘。
5.根据权利要求1～4中任一权利要求所述的用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，其特征在于：所述抽排开口与所述注气开口之间的端面具有到衬底的最小距离。
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