[发明专利]一种表面生长有单层石墨烯的单晶铁(111)、其制备和应用有效
申请号: | 202010055690.6 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111411343B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 洪正敏;李若凡;游龙 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/02;C01B32/186 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 彭翠;李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 生长 单层 石墨 单晶铁 111 制备 应用 | ||
1.一种在单晶铁(111)表面上合成单层石墨烯的方法,其特征在于,包括如下步骤:
将表面清洁的单晶铁(111)铁样品置于含有烃类气体的真空环境中,该真空环境内的压力低于10-5帕;通过解离吸附的方法,该铁样品从烃类气体中夺取碳元素,在单晶铁(111)的表面长出单层石墨烯;
获得所述表面清洁的单晶铁(111)铁样品,具体包括如下步骤:
(1-1)将单晶铁(111)铁样品放置于超高真空溅射腔室内,在不低于500eV且不高于1500eV的能量下进行Ar+溅射轰击铁样品表面;所述超高真空溅射腔室内的压力低于10-5帕;
(1-2)将铁样品在不低于500K且不高于1000K的温度条件下进行高温真空退火2-5分钟;
(1-3)重复步骤(1-1)和步骤(1-2),以清除其表面的污染物,直至在铁样品表面检测不到S、NO2或O2的峰值,得到表面清洁的单晶铁(111)铁样品;
所述真空环境中烃类气体的气压为1×10-6到1×10-5托,解离吸附时的温度为不低于500K且不高于1000K。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述烃类气体为C2H2或者CH4气体。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1-1)所述Ar+溅射轰击时间不短于30分钟。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1-3)通过光电子发射光谱学、低能电子衍射和角分辨光电子能谱学中的至少一种进行S、NO2或O2的检测。
5.如权利要求1至4任一项所述的方法制备得到的表面生长有单层石墨烯的单晶铁(111)。
6.如权利要求5所述的表面生长有单层石墨烯的单晶铁(111)的应用,其特征在于,所述表面生长有单层石墨烯的单晶铁(111)为表面上生长覆盖有单层石墨烯的单晶铁(111),用于制备自旋器件。
7.一种自旋器件,其特征在于,包括如权利要求5所述的表面生长有单层石墨烯的单晶铁(111)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的