[发明专利]一种用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法及其制得的样品有效
| 申请号： | 202010055783.9 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111257071B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 吴梦雪;刘嘉辉;朱雷;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/36;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 边人洲 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 动态 二次 离子 质谱仪 样品 制备 方法 及其 | ||
1.一种用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将边长或直径小于等于2mm的样品的待测面朝下放置在平整的载体上，所述载体的熔点高于250℃；
在所述样品的两侧放置固定片，所述固定片的一面与所述载体的上表面贴合，所述固定片具有导电性且熔点高于250℃；
沿所述固定片和所述样品的外围放置阻挡物，所述阻挡物的底面与所述载体的上表面贴合；
在所述阻挡物内的载体上加入液体镶埋材料，至所述镶埋材料凝固；
取出得到两侧连接有固定片的样品；
研磨所述两侧连接有固定片的样品的侧面和背面以去除镶埋材料；
去除镶埋材料后的两侧连接有固定片的样品的待测面镀金属层。
2.根据权利要求1所述的用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法，其特征在于，所述样品的厚度小于8mm，不大于2mm。
3.根据权利要求1所述的用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法，其特征在于，所述固定片的边长范围在2mm至10mm，所述固定片的厚度与所述样品的厚度之差不超过2mm。
4.根据权利要求3所述的用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法，其特征在于，所述阻挡物围起的形状为长方形、正方形、五边形、六边形、八边形、圆形和椭圆形中的任一种。
5.根据权利要求1所述的用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法，其特征在于，所述载体为载玻片。
6.根据权利要求1所述的用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法，其特征在于，所述固定片在使用前其中一面抛光，并且抛光面与载体的上表面贴合。
7.根据权利要求6所述的用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法，其特征在于，所述固定片为硅片或金属片。
8.权利要求1-7任一项所述的用于动态二次离子质谱仪的样品的制备方法制得的用于动态二次离子质谱仪的样品。
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