[发明专利]一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头

权利要求书

1.一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头，其特征在于，所述紫外激光应用的远心F-theta光学镜头设置有：

镜头本体；

所述镜头本体设置有沿激光入射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；

所述第一透镜为弯月型正透镜，曲面向着光线的入射方向弯曲；

所述第二透镜为双凹型负透镜；

所述第三透镜为双凹型负透镜；

所述第四透镜为弯月型正透镜，曲面向着光线的入射方向弯曲；

第五透镜为平凸型正透镜；

第六透镜为双凸型正透镜；

所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜的焦距与镜头本体的焦距分别满足：0.9f₁/f1.4，-0.7f₂/f-0.3，-1.6f₃/f-1.0，1.1f₄/f1.9，0.7f₅/f1.5，2.2f₆/f3.2，优选地，f₁/f＝1.15，f₂/f＝-0.5，f₃/f＝-1.28，f₄/f＝1.47，f₅/f＝1.09，f₆/f＝2.7，其中，f₁为第一透镜的焦距，f₂为第二透镜的焦距，f₃为第三透镜的焦距，f₄为第四透镜的焦距，f₅为第五透镜的焦距，f₆为第六透镜的焦距，f为镜头本体的总焦距。

2.如权利要求1所述的紫外激光应用的远心F-theta光学镜头，其特征在于，所述镜头本体的焦距为105mm，入瞳直径为9mm，入射光波长为355nm，视场角为ω，其为2ω＝41°，加工区域为53mm*53mm。

3.如权利要求1所述的紫外激光应用的远心F-theta光学镜头，其特征在于，所述第一透镜的两个曲面S1、S2的曲率半径分别为R1＝-128±5mm，R2＝-40±5mm，第一透镜光轴上的中心厚度d1＝5.2±0.5mm，第一透镜材料的折射率N_d＝1.46，阿贝数V_d＝67.82；

第二透镜的两个曲面S3、S4的曲率半径分别为R3＝-25±5mm，R4＝717±5mm，第二透镜光轴上的中心厚度d3＝2.1±0.5mm，第二透镜材料的折射率N_d＝1.46，阿贝数V_d＝67.82。

4.如权利要求1所述的紫外激光应用的远心F-theta光学镜头，其特征在于，第三透镜的两个曲面S5、S6的曲率半径分别为R5＝-75±5mm，R6＝433±5mm，第三透镜光轴上的中心厚度d5＝5.4±0.5mm，第三透镜材料的折射率N_d＝1.46，阿贝数V_d＝67.82；

第四透镜的两个曲面S7、S8的曲率半径分别为R7＝-152±5mm，R8＝-50±5mm，第四透镜光轴上的中心厚度d7＝12.7±0.5mm，第四透镜材料的折射率N_d＝1.46，阿贝数V_d＝67.82。

5.如权利要求1所述的紫外激光应用的远心F-theta光学镜头，其特征在于，第五透镜的两个曲面S9、S10的曲率半径分别为R9＝∞，R10＝-54±5mm，第五透镜光轴上的中心厚度d9＝24.2±0.5mm，第五透镜材料的折射率N_d＝1.46，阿贝数V_d＝67.82。

6.如权利要求1所述的紫外激光应用的远心F-theta光学镜头，其特征在于，第六透镜的两个曲面S11、S12的曲率半径分别为R11＝290±5mm，R12＝-248±5mm，第六透镜光轴上的中心厚度d11＝10.5±0.5mm，第六透镜材料的折射率N_d＝1.46，阿贝数V_d＝67.82。