[发明专利]一种基于MEMS的可调光衰减器阵列在审
| 申请号： | 202010056833.5 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113138443A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 贾春艳;肖鹏;宋智华;陈营营;华金娥 | 申请（专利权）人： | 福州高意通讯有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B26/08 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 调光 衰减器 阵列 | ||
1.一种基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：依序包括光纤阵列、微透镜阵列和基于MEMS的微型反射镜阵列，组成具有若干个光衰减单元的可调光衰减器阵列。
2.如权利要求1所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述光纤阵列成对分布，成对光纤包括对应设置的入射光纤和出射光纤；所述微透镜阵列中的透镜呈现高精度的等间距分布，且相邻透镜间距与相邻成对排布的光纤间距相同；所述基于MEMS的微型反射镜阵列中的每一个反射镜与微透镜阵列中的透镜、成对分布的光纤同轴等间距分布，均可以改变光束传播方向，使光束产生错位耦合损耗，进而实现对特定入射光的衰减调控。
3.如权利要求1所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述光纤阵列为裸光纤阵列或光纤头阵列。
4.如权利要求1所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述微透镜阵列所包含的微透镜为柱面透镜，为G-lens或者C-lens。
5.如权利要求1所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述微透镜阵列为冲压件、硅基刻蚀件或是借助定位装置所得到的组装件。
6.如权利要求1所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述可调光衰减器阵列批量调试且装配于封装结构内。
7.如权利要求6所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述封装结构包括外封管和基座，所述外封管的一端与基座连接成一体，外封管的另一端具有通孔，供入射光纤与出射光纤通过；所述基座外部固定有若干组PIN脚，每一组PIN脚通过金丝与基于MEMS的微型反射镜阵列中的MEMS芯片连接，用于为MEMS芯片提供驱动电压，实现反射镜片的角度扭转。
8.如权利要求7所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述基座内侧设有缓冲垫片，缓冲垫片为基于MEMS的微型反射镜阵列提供振动和冲击保护。
9.如权利要求7所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述外封管一端与基座的连接采用金锡焊或者电阻焊或者胶粘的方式装配成一体。
10.如权利要求7所述的基于MEMS的可调光衰减器阵列，其特征在于：所述外封管另一端的通孔采用胶封装。
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