[发明专利]一种抗粘附的射频机械开关及其制备方法有效
| 申请号： | 202010058134.4 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111180837B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 姜理利;王雷;李杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10;H01P11/00;H01H59/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 粘附 射频 机械 开关 及其 制备 方法 | ||
1.一种抗粘附的射频机械开关，其特征在于，包括：
衬底(1)；
共面波导结构，设置于所述衬底(1)上，用于传输射频以及微波信号；
悬臂梁结构，包括悬臂梁(31)、电感阵列(32)以及触点(33)；所述悬臂梁(31)一端通过支架(34)与所述共面波导结构连接，所述悬臂梁(31)另一端设有触点(33)；所述电感阵列(32)设于所述悬臂梁(31)上；
驱动结构，包括电感(41)以及焊盘(42)，所述电感(41)设置于所述衬底(1)上，所述电感(41)位于所述悬臂梁(31)下方；所述焊盘(42)设置在所述衬底(1)上；所述电感(41)通过金属丝(43)与所述焊盘(42)连接；
所述共面波导结构包括设置于所述衬底(1)上的输入信号线(21)、输出信号线(22)以及地线(23)，所述输入信号线(21)通过支架(34)与所述悬臂梁(31)连接；所述输出信号线(22)位于所述触点(33)下方；所述地线(23)具有两条，所述输入信号线(21)以及所述输出信号线(22)位于两条地线(23)之间，所述输入信号线(21)、所述输出信号线(22)以及所述地线(23)相互平行。
2.根据权利要求1所述的抗粘附的射频机械开关的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S10在衬底上溅射金属并刻蚀形成共面波导结构和驱动结构；
S20在所述共面波导结构和所述驱动结构上涂覆一层牺牲层(5)并在牺牲层(5)上刻出触点(33)的位置；
S30在牺牲层(5)上溅射一层金属并刻蚀出悬臂梁结构，然后电镀增厚；以及
S40采用湿法腐蚀的方法去除牺牲层(5)，释放结构，获得所述抗粘附的射频机械开关；
其中，所述悬臂梁结构包括悬臂梁(31)、电感阵列(32)以及触点(33)；所述悬臂梁(31)一端通过支架(34)与所述共面波导结构连接，所述悬臂梁(31)另一端设有触点(33)；所述电感阵列(32)设于所述悬臂梁(31)上；所述驱动结构，包括电感(41)以及焊盘(42)，所述电感(41)设置于所述衬底(1)上，所述电感(41)位于所述悬臂梁(31)下方；所述焊盘(42)设置在所述衬底(1)上；所述电感(41)通过金属丝(43)与所述焊盘(42)连接；所述共面波导结构包括设置于所述衬底(1)上的输入信号线(21)、输出信号线(22)以及地线(23)，所述输入信号线(21)通过支架(34)与所述悬臂梁(31)连接；所述输出信号线(22)位于所述触点(33)下方；所述地线(23)具有两条，所述输入信号线(21)以及所述输出信号线(22)位于两条地线(23)之间，所述输入信号线(21)、所述输出信号线(22)以及所述地线(23)相互平行。
3.根据权利要求2所述的抗粘附的射频机械开关的制备方法，其特征在于，所述牺牲层(5)的材质为耐高温性能、绝缘性能和化学性质稳定的有机高分子材料。
4.根据权利要求3所述的抗粘附的射频机械开关的制备方法，其特征在于，所述有机高分子材料为聚酰亚胺。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所，未经中国电子科技集团公司第五十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010058134.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
