[发明专利]用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法

说明书

提供了用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法。该用于激光加工的设备包括支承衬底的台和生成误差补偿表的控制器、使台移动的电机驱动器和生成用于补偿误差的表的误差补偿单元。误差补偿单元包括：布置在台上的栅格板和对栅格板进行成像的成像单元。电机驱动器根据台的位置将位置同步信号输出到成像单元。成像单元从电机驱动器接收位置同步信号，并且在使台移动期间对栅格板进行成像。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年1月23日提交到韩国知识产权局(KIPO)的第10-2019-0008836号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的公开内容通过引用以其整体地并入本文。

技术领域

本发明涉及用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法。

背景技术

使用照射衬底的表面的激光加工设备对衬底(诸如手机中使用的显示衬底)进行开槽或切割。对衬底进行切割或开槽的激光加工设备可具有通过使用透镜来调节的激光的焦点。然而，由于透镜的像差，通过透镜发射的激光可能变得失真，并且透镜的像差可能导致衬底的制造工艺中的误差。

发明内容

本发明的实施方式涉及配置成补偿在持续地移动的台的成像期间引起的与像差和移动相关的误差的用于激光加工的设备以及其实现方法。

根据本发明的示例性实施方式，提供了用于激光加工的设备，该用于激光加工的设备包括支承衬底的台、生成误差补偿表的控制器、使台移动的电机驱动器和生成用于补偿误差的表的误差补偿单元。误差补偿单元包括布置在台上的栅格板和对栅格板进行成像的成像单元。电机驱动器根据台的位置将位置同步信号输出到成像单元。成像单元从电机驱动器接收位置同步信号，并且在使台移动期间对栅格板进行成像。

根据本发明的示例性实施方式，每当台移动预定距离时，电机驱动器输出位置同步信号。经生成的误差补偿表包括移动误差。包括在误差补偿表中的移动误差指示在位置同步信号的输出与栅格板的成像之间的延迟期间发生的台经过的实际距离与预定距离之间的差异。

根据本发明的示例性实施方式，控制器对由成像单元成像的图像进行分析以生成误差补偿表。

根据本发明的示例性实施方式，控制器基于误差补偿表来输出移动补偿信号。

根据本发明的示例性实施方式，栅格板包括反射材料，并且来自照明单元的光通过同轴照明被提供给栅格板。

根据本发明的示例性实施方式，照明单元包括以至少3W的功率驱动的光源。

根据本发明的示例性实施方式，成像单元包括以至少每秒60帧(fps)的帧速率成像的高速相机。

根据本发明的示例性实施方式，用于激光加工的设备包括布置在台上的激光束发生器、从激光束发生器接收激光束的振镜扫描器单元和布置在振镜扫描器单元与台之间的透镜单元。

根据本发明的示例性实施方式，用于激光加工的设备包括透镜单元，透镜单元包括远心透镜和F-θ透镜中的至少一个。

根据本发明的示例性实施方式，对用于激光加工的设备的误差进行补偿的方法包括：在母板上形成栅格板；使其上布置有栅格板的台移动；每当台移动预定距离时，生成位置同步信号；响应于位置同步信号而对栅格板进行成像；以及通过计算由像差引起的误差来生成像差补偿表。

根据本发明的示例性实施方式，栅格板是在台移动期间响应于位置同步信号而被成像的。

根据本发明的示例性实施方式，对用于激光加工的设备的误差进行补偿的方法还包括：在通过计算误差来生成像差补偿表之后，输出台移动补偿信号。

根据本发明的示例性实施方式，响应于位置同步信号而对栅格板进行成像包括：以至少每秒30帧(fps)的帧速率对栅格板进行成像。