[发明专利]一种密封箱室的双层指定流道密封结构及密封方法

说明书

本发明提供了一种密封箱室的双层指定流道密封结构，包括密封壳体(1)、循环净化系统(2)、连接件(3)、控制与检测装置(4)、导流结构(5)、控气结构(6)，所述密封壳体(1)为八面体，所述循环净化系统(2)包括内箱体循环净化系统、夹套循环净化系统，连接件(3)包括内外连接件(31)和外部连接件(32)；所述控气结构(6)用于控制气体的进入和排出。能够实现内外层壳体密封等级达不到要求的情况下实现整体达到要求的密封等级，并且内部气体死区较少。

技术领域

本发明涉及密封技术领域，具体涉及一种密封箱室的双层指定流道的密封结构及密封方法。

技术背景

对比国外，国内目前所拥有的密封箱室较少达到高级甚至超高级密封的要求，想要单纯从制造水平上提升密封等级难以实现，问题由此产生。

对于密封箱室来说，每一个密封箱室的内部都有其特殊的环境，需要保持内部的特定环境指标达到恒定需求值，若密封箱室的密封等级达不到需求等级，对于密封箱室内部环境来说的密封箱室外部杂质气体会以多种方式进入箱体内部，在泄露点处杂质气体含量高，其他部分杂质气体含量相对较低，进入的量会超过密封箱室内部允许承载的量，很大程度上会影响密封箱室内部的工作，为了保证密封箱室内部工作的环境与氛围及夹套均匀性，必须提高密封箱室的密封等级，并且保证密封箱室夹套气体均匀性。

发明内容

本发明的目的是为了提高密封箱室的密封性能与夹套气体均匀性，降低单位时间内外界杂质气体进入密封箱室的量，减少内部气体单位时间内泄露到密封箱室外部的量，本发明提供了一种密封箱室的双层指定流道密封结构及其密封方法。

本发明的技术方案是提供一种密封箱室的双层指定流道密封结构，包括密封壳体、循环净化系统、连接件、控制与检测装置、导流结构、控气结构，其特征在于：

所述密封壳体为八面体，八面体的每个面都有内层与外层钢板，内层和外层钢板都由小钢板拼焊而成；

所述循环净化系统包括内箱体循环净化系统、夹套循环净化系统，内层密封壳体内的气体通过内箱体循环净化系统循环流动；夹套内的气体通过夹套循环净化系统循环流动；

连接件包括内外连接件和外部连接件，内外连接件贯穿内层密封壳体与外层密封壳体，并分别与内层密封壳体与外层密封壳体固定连接，外部连接件仅贯穿外层密封壳体并与外层密封壳体固定连接；

所述导流结构用于引导气体的流动；

所述控气结构用于控制气体的进入和排出。

该发明还提供了一种双层指定流道密封结构的密封方法，包括以下步骤：

步骤1：将内箱体循环净化系统与夹套循环净化系统中的第一检修口、第二检修口打开，分别通入浓度99.99％第一气体与浓度99.99％第二气体，同时第一风机、第二风机工作，开始内箱体与夹套的洗气工作；

步骤2：洗气的同时打开内箱体气体压力控制装置、夹套气体压力控制装置以及内箱体气体检测装置、夹套气体检测装置，检测内箱体与夹套内部气体压力、浓度、温度，根据检测到的数据调节内箱体气体压力控制装置、夹套气体压力控制装置，设置压力梯度；

步骤3：内箱体气体检测装置与夹套气体检测装置检测到气体的浓度达到指定值后，关闭检修口，停止洗气工作，使得密封箱室内部和夹套的气体分别在第一风机的作用下自循环净化。

步骤4：内箱体气体检测装置或夹套气体检测装置检测到目标气体浓度低于指标值后，开启检修口，通入高浓度目标气体，目标气体浓度高于指标值后关闭检修口让循环净化系统自循环；

步骤5：当局部夹套气体检测装置检测到目标气体浓度低于指标值后，关闭模块出口阀板，打开控气排气口阀板，让浓度低于指标值的目标气体从控气排气口排出，同时关闭导流口阀板，打开控气进气口阀板，从控气进气口通入高浓度目标气体至下一个模块；