[发明专利]基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器及系统

权利要求书

1.一种基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括：柔性材料层、第一石墨烯层、第一纳米管部、受力部、第一电极和第二电极；

所述第一石墨烯层设置在所述柔性材料层的一侧，所述第一电极、所述第二电极和第一纳米管部分别设置在所述第一石墨烯层远离所述柔性材料层的一侧，其中，第一电极和第二电极分别设置在所述第一石墨烯层的两端，所述第一纳米管部包括多个碳纳米管，多个所述碳纳米管设置在所述第一电极和所述第二电极之间，所述受力部覆盖在多个所述碳纳米管远离所述柔性材料层的一侧。

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括第二石墨烯层，所述第二石墨烯层设置所述第一纳米管部与所述受力部之间。

3.根据权利要求2所述的基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，所述第二石墨烯层靠近所述第一纳米管部的面设置为粗糙面。

4.根据权利要求2所述的基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，所述第二石墨烯层的两端分别与所述第一石墨烯层连接。

5.根据权利要求1所述的基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括第二纳米管部，所述第二纳米管部设置在所述第一石墨烯层和所述柔性材料层之间。

6.根据权利要求5所述的基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，所述第一纳米管部和所述第二纳米管部内掺杂有石墨烯碎片。

7.根据权利要求1所述的基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，所述第一石墨烯层靠近所述第一纳米管部的面上设置有多个凹坑。

8.根据权利要求1所述的基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器，其特征在于，多个所述碳纳米管相互平行设置。

9.一种基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感系统，其特征在于，所述压力传感系统包括：电流表和权利要求1-8任意一项所述的压力传感器，所述电流表的正极与负极所述压力传感器的第一电极电连接，所述电流表的与所述压力传感器的第二电极电连接，用于检测所述压力传感器的输出电流。