[发明专利]导电薄膜多探针测量装置及其测量方法

权利要求书

1.一种导电薄膜多探针测量装置，包括测量基座、探头座；所述探头座上设有能上下滑动的多根探针，每根探针上都设有弹性加力部件，弹性加力部件的下端连接探针，弹性加力部件的上端连接探头座；每根探针的下端都低于探头座的下端，并且每根探针都能向上滑动至探针的下端与探头座的下端齐平；其特征在于：

所述测量基座上设有能上下活动的活动座，并且在测量基座上设有用于驱使活动座向上回位的弹性回位部件，弹性回位部件的一端连接测量基座，另一端连接活动座，所述探头座固定在活动座上；

所述测量基座上设有能上下滑动的推杆，及用于驱动推杆上下滑动的推杆驱动部件，推杆的下端抵住活动座，推杆上设有用于检测推杆所承受的竖向压力的压力传感器。

2.根据权利要求1所述的导电薄膜多探针测量装置，其特征在于：所述测量基座上设有用于检测推杆上下滑动行程的高度测量器。

3.根据权利要求1或2所述的导电薄膜多探针测量装置的测量方法，其特征在于：

将推杆的下滑行程始点定义为点a，将推杆下滑到使得探针刚好触及样品表面但未对样品表面施加压力时的临界点定义为点b，将推杆下滑到使得探针正好向上缩回至行程止点时的临界点定义为点c；

将推杆从点a下滑至点b的下滑行程定义为第一阶段行程；将推杆从点b下滑至点c的下滑行程定义为第二阶段行程；

利用推杆驱动部件驱动推杆向下滑动，并利用压力传感器测量推杆所承受的竖向压力；

在推杆的第二阶段行程中实时计算探针受力，当探针受力的计算值达到所需要的设定值时停止推杆的下滑；

推杆的第二阶段行程中的探针受力计算公式为：

dlt_F= F_meas-F_calculate

式中，dlt_F为探针受力值，F_meas为推杆在第二阶段行程中所承受的竖向压力实时值，F_calculate为推杆在第一阶段行程中所承受的竖向压力测得值。

4.根据权利要求3所述的导电薄膜多探针测量装置的测量方法，其特征在于：利用高度测量器测量推杆的向下滑动行程，根据推杆在第二阶段行程中的向下滑动行程测得值，及推杆在第二阶段行程中所承受的竖向压力测得值，求得推杆第二阶段行程中的探针受力曲线。