[发明专利]一种臭氧产生提纯系统

说明书

本申请提供一种臭氧产生提纯系统，包括：供氧装置、臭氧发生装置、臭氧分离装置、控制装置和气路管道；供氧装置能够提供氧气；臭氧发生装置能够将氧气电解为包含氧气和臭氧的混合气体；臭氧分离装置能够将混合气体中的臭氧分离，臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置；供氧装置、臭氧发生装置和臭氧分离装置通过气路管道依次连通，气路管道包括多个支路管道；控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，且控制装置能够调控多个支路管道的气压。本申请提供的臭氧产生提纯系统的臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置，能够进行臭氧的收集，控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，调控多个支路管道的气压，有效防止气路压力增大，安全系数高。

技术领域

本申请涉及臭氧制备技术领域，特别涉及一种臭氧产生提纯系统。

背景技术

分子束外延技术是一项十分先进的生长薄膜的科研技术，氧化物分子束外延技术需要利用臭氧为薄膜提供氧元素。由于臭氧易于分解，且难以运输，需要现制现用。

目前工业界使用的臭氧发生机商品，多数以空气为氧气源直接电解，由于空气中有大量氮气，此方式制备出的臭氧不纯，混有氮化物，不能用于需要高真空高纯度的氧化物薄膜生长。而且由于缺失臭氧收集过程，不能实现一段时期内先制备、再使用的目的。

发明内容

本申请要解决的是现有技术中臭氧产生提纯系统制备出的臭氧不纯且制备出的臭氧无法收集的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请实施例公开了一种臭氧产生提纯系统，包括：供氧装置、臭氧发生装置、臭氧分离装置、控制装置和气路管道；

供氧装置能够提供氧气；

臭氧发生装置能够将氧气电解为包含氧气和臭氧的混合气体；

臭氧分离装置能够将混合气体中的臭氧分离，臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置；

供氧装置、臭氧发生装置和臭氧分离装置通过气路管道依次连通，气路管道包括多个支路管道；

控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，且控制装置能够调控多个支路管道的气压。

进一步地，臭氧分离装置包括杜瓦罐和三腔体石英瓶；

杜瓦罐内灌入有液氮，三腔体石英瓶浸泡于杜瓦罐内部的液氮中。

进一步地，三腔体石英瓶包括外部腔体、中部腔体和内部腔体，内部腔体嵌套于中部腔体内，中部腔体嵌套于外部腔体内；

外部腔体设有通向外部的管路；

中部腔体设有第一进气管路和第一出气管路，第一进气管路和第一出气管路用于进行氮气循环过程，氮气循环过程用于升高内部腔体的温度；

内部腔体设有第二进气管路和第二出气管路；第二进气管路与臭氧发生装置连通。

进一步地，内部腔体内设有臭氧吸附装置。

进一步地，臭氧吸附装置包括多孔硅胶。

进一步地，臭氧发生装置包括高压放电系统，氧气通过高压放电系统电解为混合气体。

进一步地，控制装置包括多个阀门，控制装置通过阀门控制多个支路管道开启或关闭。

进一步地，控制装置还包括质量流量控制器，质量流量控制器与供氧装置连接，质量流量控制器用于控制氧气的气体流量。

进一步地，控制装置还包括多个真空度测量器。

进一步地，该臭氧产生提纯系统还包括机械泵，机械泵与内部腔体的出气管路连通，机械泵用于抽取内部腔体中多余的氧气。

采用上述技术方案，本申请具有如下有益效果：