[发明专利]用于抽空过程空间的系统和方法

说明书

本发明涉及一种用于抽空过程空间(11)的系统和方法，其中，使用并行运行的两个压缩机(12,13)将过程空间(11)初始抽空至压力极限值，并且其中，在达到或低于压力极限值时，随后使用现在串联运行的两个压缩机(12,13)来抽空过程空间(11)。

技术领域

本发明涉及一种用于抽空过程空间(process space)的系统。此外，本发明涉及一种用于抽空过程空间的方法。

背景技术

从实践中，已知多种应用，在其中必须抽空过程空间。为了该目的，迄今采用真空泵。尤其当真空泵被用于抽空过程空间时，在要抽空具有较大体积的过程空间的情况中，这可能花费太长时间。因此，需要一种用于抽空过程空间的新型系统和方法，借助于其尤其可在短时间内可靠地抽空较大的过程空间。

发明内容

从这一点出发，本发明目的在于形成一种用于抽空过程空间的新型系统和方法。

该目的通过一种用于抽空过程空间的系统来实现。

根据本发明的用于抽空过程空间的系统包括第一压缩机，其可经由第一流入管线(inflow line)被联接至过程空间，并且从过程空间提取的介质可从其经由第一流出管线流出到周围环境中。

根据本发明的用于抽空过程空间的系统此外包括第二压缩机，其可经由第二流入管线被联接至过程空间，并且从过程空间提取的介质可从其经由第二流出管线流出到周围环境中。

根据本发明的用于抽空过程空间的系统此外包括连接在第一流出管线与第二流入管线之间的连接管线。

第一流入管线阀集成在第一流入管线中。第二流入管线阀集成在第二流入管线中。流出管线阀集成在第一流出管线中。连接管线阀集成在连接管线中。

尤其当第一流入管线阀、第二流入管线阀和第一流出管线阀都打开而连接管线阀关闭时，第一压缩机和第二压缩机可并行运行。尤其当第一流入管线阀和连接管线阀都打开而第二流入管线阀和第一流出管线阀都关闭时，第一压缩机和第二压缩机可串联运行。

根据本发明的用于抽空过程空间的系统不使用任何真空泵，而是使用压缩机。这里，第一压缩机和第二压缩机形成压缩机组，其中，这两个压缩机既可并行运行并且也可串联运行。高于压力极限时，压缩机并行运行。相反，当达到或低于(undershooting)压力极限值时，压缩机串联运行。通过这样，可在短时间内将相对大的过程空间抽空至高负压。

根据有利的进一步发展，第一外部空气管线阀集成在通向第一压缩机的第一外部空气管线中，其中，第二外部空气管线阀集成在通向第二压缩机的第二外部空气管线中，并且其中，第一外部空气管线阀和第二空气管线阀可根据第一压缩机和第二压缩机的运行条件促发。外部空气管线阀能够根据压缩机的运行条件来促发，以便确保压缩机的安全运行。

根据有利的进一步发展，第一流入管线阀和第二流入管线阀可根据第一压缩机和第二压缩机的运行条件促发。根据这两个压缩机的运行条件促发(activation)这两个流入管线阀用于保护用于驱动压缩机的电机。

根据有利的进一步发展，第一流入管线分配有第一压力传感器，其中，第二流入管线分配有第二压力传感器，并且其中，第二流入管线阀、第一流出管线阀和连接管线阀都可根据这两个压力传感器的测量值促发。通过压力传感器，待抽空的过程空间所已被抽空至的负压能够经由压力传感器容易地且可靠地来监控。根据压力传感器的测量值，然后可能从压缩机的并行运行切换至压缩机的串联运行，为了该目的那么适当地促发阀。

限定了根据本发明的用于抽空过程空间的方法。

附图说明

本发明的优选的进一步发展从接下来的说明中获得。本发明的示例性实施例通过附图更详细地来解释，而不限制于此。

其中：