[发明专利]制动阀滑阀副平面度的检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种制动阀滑阀副平面度的检测装置，其特征在于，包括：

第一光源(10)；

干涉采集器(20)；

第一偏光片(30)，所述第一偏光片(30)位于所述第一光源(10)和待测工件(100)之间，且所述第一光源(10)发出的光束在经过所述第一偏光片(30)时分成反射的参考光束(11)和透射的检测光束(12)，所述检测光束(12)穿过所述第一偏光片(30)后照射在所述待测工件(100)上，并被所述待测工件(100)反射后逆向照射在所述第一偏光片(30)背离所述第一光源(10)的一侧，且在所述第一偏光片(30)的反射下射入所述干涉采集器(20)；

反光镜(40)，所述反光镜(40)位于所述第一偏光片(30)远离所述干涉采集器(20)的一侧，所述参考光束(11)反射到所述反光镜(40)上，并在所述反光镜(40)的至少一次反射下逆向穿过所述第一偏光片(30)照射到所述干涉采集器(20)上，所述检测光束(12)和所述参考光束(11)在所述干涉采集器(20)上形成干涉图像；

显示设备(50)，所述显示设备(50)与所述干涉采集器(20)连接，并将所述干涉图像显示出来；

所述检测装置还包括调整平台(60)，所述调整平台(60)位于所述第一偏光片(30)远离所述第一光源(10)的一侧，所述待测工件(100)放置在所述调整平台(60)上，且所述调整平台(60)的工作表面的倾斜程度能够调节；

所述检测装置还包括：

第二偏光片(70)，所述第二偏光片(70)设置在所述第一偏光片(30)远离所述反光镜(40)的一侧，并且经由所述第一偏光片(30)反射的检测光束(12)以及经由所述反光镜(40)反射的参考光束(11)均照射在所述第二偏光片(70)上，并分成反射光束和透射光束，所述反射光束或所述透射光束射入所述干涉采集器(20)中并形成所述干涉图像；

调整采集器(80)，所述调整采集器(80)设置在所述第一偏光片(30)远离所述反光镜(40)的一侧并与所述显示设备(50)连接，所述透射光束或所述反射光束射入所述调整采集器(80)中并形成光斑，且由所述检测光束(12)形成的光斑和由所述参考光束(11)形成的光斑之间的相对位置随所述调整平台(60)的工作表面的倾斜程度改变。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一光源(10)发出的光束的波长为500至760nm，且所述第一光源(10)采用激光光源。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一光源(10)发出的光束的波长为635nm。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括透镜(90)，所述透镜(90)位于所述第一光源(10)和所述第一偏光片(30)之间，所述第一光源(10)发出的光束穿过所述透镜(90)后照射在所述第一偏光片(30)上。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第二光源；

平晶，所述平晶能够伸入所述待测工件(100)的孔洞之中，所述第二光源发出的光束经由所述平晶表面照射在所述待测工件(100)上并形成干涉图像。