[发明专利]用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法

说明书

本发明涉及的一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，它包括以下内容：使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，然后连续生产，在下次维护时撕去胶带并重新粘贴新胶带，然后合腔重新抽真空。本发明提升了量产设备的使用寿命，从而提升产能；减少了金属遮罩清洗喷砂处理，节约了维护成本；本发明制备的TCO可提高HJT太阳能电池的外观良率，还可减少掉粉污染对HJT太阳能电池开路电压和短路电流的影响，从而提升电池的光电转换效率。

技术领域

本发明涉及光伏高效电池技术领域，尤其涉及一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法。

背景技术

由于HJT电池发射极是用非晶硅制备的，该层的横向导电性比较差，所以必须在发射极的上面制备一层TCO导电膜，其主要作用是将载流子输运到电池电极，同时保护P型非晶硅掺杂层和N型非晶硅掺杂层。TCO薄膜性能的好坏关乎HJT电池转换效率的高低，因此，制备性能优异的TCO薄膜对于进一步提高HJT电池转换效率意义重大。

目前采用RPD(反应等离子蒸镀)设备制备TCO膜相对于传统的PVD（磁控溅射）设备镀膜具有光学性能好、电学性能好、低损伤等特性，即高透过所以高电流、高迁移率低载流子浓度、较低的衬底表面轰击，更符合工艺的要求；然而当前的RPD镀膜设备普遍存在掉粉现象，设备工作时游离于设备腔体内的TCO粉尘经工艺气体吹扫吸附到硅片表面，这种洁净度降低、外观不良造成了效率与良率的重大损失，常因此需要经常开腔清洁维护，不符合批量生产要求，生产效率低。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，提高HJT太阳能电池的外观良率，同时短时间的维护可提高量产设备的使用寿命，降低维护成本。

本发明的目的是这样实现的：

一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，它包括以下内容：使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，然后连续生产，在下次维护时撕去胶带并重新粘贴新胶带，然后合腔重新抽真空。

一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，在设备保持余温且未充分吸附空气中的水汽时重新抽真空。

一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，所述耐高温磨砂胶采用粗糙面、耐高温型。

一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，所述耐高温磨砂胶粘合剂采用无残留无挥发污染型。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，可增强粉尘颗粒吸附能力，延长维护周期，提升了量产设备的使用寿命，从而提升产能；减少了金属遮罩清洗喷砂处理，节约了维护成本；本发明制备的TCO可提高HJT太阳能电池的外观良率，还可减少掉粉污染对HJT太阳能电池开路电压和短路电流的影响，从而提升电池的光电转换效率。

具体实施方式

实施例1：

本发明涉及的一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，它包括以下内容：

（1）维护时TCP挡板与顶部金属遮罩使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖，维护后连续生产；

（2）硅片表面有明显粉尘附着时开始开腔维护（此时为第10天）；

（3）破真空、开腔盖，开始计时；

（4）撕掉TCP挡板与顶部金属遮罩胶带，吸尘器清洁工艺腔室，粘贴新的胶带，计时共38min；

（5）红外测温枪量测工艺腔体温度为68℃，开始计时；