[发明专利]一种真空腔旋转角度异常的校正装置及方法

权利要求书

1.一种真空腔旋转角度异常的校正装置，其特征在于，包括设置在真空腔分隔壁内的信号接收端、设置在制程腔分隔壁内且与所述信号接收端对应的信号发射端以及旋转盘，所述旋转盘表面设有指针和刻度，所述指针与所述真空腔的旋转轴相连接，所述旋转盘内部设有位置感应器，所述位置感应器用于记录所述真空腔的旋转数据并根据旋转数据判断真空腔的旋转方向；当异常断电时，操作人员根据真空腔的旋转方向将真空腔向旋转盘上刻度为0度或180度的方向旋转，直至所述信号发射端发出的信号被对应的所述信号接收端接收时停止操作；

所述信号接收端包括三个接收传感器，所述信号发射端包括三个与所述接收传感器一一对应的发射传感器，

三个所述接收传感器与三个所述发射传感器均呈三角形分布；

所述位置感应器包括处理器、光电传感器发射端以及至少一个光电传感器接收端；处理器集成在计算机端，光电传感器发射端安装在所述旋转盘上，光电传感器接收端围绕光电传感器发射端呈X型安装，固定在静止的支架上；光电传感器发射端用于发射信号，当真空腔旋转时，旋转盘上的光电传感器发射端旋转至与光电传感器接收端对应的位置时，对应的所述光电传感器接收端接收光电传感器发射端发出的信号并将该信号反馈至处理器，处理器用于根据接收到的反馈计算出真空腔的旋转数据。

2.根据权利要求1所述的真空腔旋转角度异常的校正装置，其特征在于，所述旋转数据包括至少一个光电传感器接收端的脉冲计数值以及根据脉冲计数值计算得到的旋转圈数。

3.根据权利要求1或2所述的真空腔旋转角度异常的校正装置，其特征在于，所述光电传感器接收端为四个，所述光电传感器接收端分别设置在刻度为45度、135度、225度、315度对应的位置。

4.根据权利要求1所述的真空腔旋转角度异常的校正装置，其特征在于，还包括提示器，所述提示器用于在所述信号发射端发出的信号被对应的所述信号接收端接收时发出提示信息。

5.根据权利要求4所述的真空腔旋转角度异常的校正装置，其特征在于，所述提示信息包括界面显示或声音提示。

6.一种真空腔旋转角度异常的校正方法，其特征在于，适用于上述权利要求1-5任意一项所述的真空腔旋转角度异常的校正装置，所述方法包括：

设置在旋转盘上的位置感应器记录所述真空腔的旋转数据并根据旋转数据判断真空腔的旋转方向；

当异常断电时，操作人员根据旋转方向将真空腔向旋转盘上刻度为0度或180度的方向旋转，直至设置在制程腔分隔壁的信号发射端发出的信号被对应的设置在真空腔分隔壁的信号接收端接收时停止操作。

7.根据权利要求6所述的真空腔旋转角度异常的校正方法，其特征在于，步骤“制程腔分隔壁的信号发射端发出的信号被对应的设置在真空腔分隔壁的信号接收端接收”具体为：

信号接收端包括三个接收传感器；所述信号发射端包括三个与所述接收传感器一一对应的发射传感器；三个所述接收传感器与三个所述发射传感器均呈三角形分布；三个所述发射传感器发出信号，当三个所述发射传感器的位置与三个所述接收传感器的位置一一对应时，所述接收传感器接收到该信号。

8.根据权利要求6所述的真空腔旋转角度异常的校正方法，其特征在于，所述方法还包括：当真空腔旋转角度越出到180度～360度或N*360度+θ(N为正整数，0度≤θ＜360度)时，位置感应器根据脉冲计数值和旋转圈数值确定真空腔的旋转方向和圈数；操作人员根据旋转方向和圈数将真空腔转回0度或180度。