[发明专利]刀具更换单元有效
申请号: | 202010069072.7 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN111497048B | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
发明(设计)人: | 寺田一贵 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67;H01L21/304 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刀具 更换 单元 | ||
提供刀具更换单元,其能够容易地求出安装切削刀具的安装座的位置。刀具更换单元包含:对切削刀具进行保持的刀具卡盘;使刀具卡盘移动的移动单元;以及对移动单元进行控制的控制单元。刀具卡盘具有对切削刀具进行保持的多个导电性的爪。控制单元检测爪与轮毂部的导通。控制单元包含:计算部,其对移动单元进行控制而使爪与安装座的至少三个点接触,根据检测到导通的坐标而计算安装座的轴心的位置;以及装卸控制部,其使刀具卡盘的轴心与计算部所计算的安装座24的轴心对齐而进行切削刀具的装卸。
技术领域
本发明涉及刀具更换单元,在具有自动更换切削刀具的机构的加工装置中,为了使刀具更换单元和安装座的中心一致,该刀具更换单元对安装座的中心进行检测。
背景技术
在进行半导体晶片等被加工物的切削时,使用具有切削刀具的切削装置作为加工装置(例如参照专利文献1)。上述的切削装置为了连续地运转,需要被自动地提供作为消耗品的切削刀具。
因此,专利文献1所示的切削装置具有:刀具架,其对多个切削刀具进行保持;以及刀具更换单元,其对切削单元的切削刀具进行更换。
专利文献1:日本特开2016-144838号公报
专利文献1所示的切削装置的刀具更换单元为了适当地装卸切削刀具,需要进行使安装座的中心和刀具更换单元的对切削刀具进行保持的保持部的中心对齐的作业。
另外,上述以往的切削装置有时在进行了一次上述对位之后也会由于热影响或部件彼此的碰撞等而使安装座的中心和刀具更换单元的保持部的中心的位置关系偏移,需要再次调整彼此的中心。
但是,专利文献1所示的刀具更换单元为了求出安装座的中心的位置,需要操作者通过目视和触觉进行作业,很繁杂。
发明内容
由此,本发明的目的在于提供刀具更换单元,其能够容易地求出安装切削刀具的安装座的位置。
根据本发明的一个方式,提供刀具更换单元,其将切削刀具相对于安装座的沿轴心方向延伸的轮毂部进行装卸,该切削刀具包含中央具有插入口的圆形基台以及配置于该圆形基台的外周缘的切刃,该安装座固定在加工装置的主轴前端,其中,该刀具更换单元具有:导电性的保持部,其对该切削刀具进行保持;移动单元,其使该刀具更换单元移动;以及控制单元,其对该移动单元进行控制,并且检测该保持部与该轮毂部的导通,该控制单元包含:计算部,其对该移动单元进行控制而使该保持部与该安装座的至少三个点接触,根据检测到导通的坐标而计算该安装座的中心;以及装卸控制部,其使该保持部的中心与该计算部所计算的该安装座的中心对齐而进行该切削刀具的装卸。
优选该安装座还具有支承凸缘,该支承凸缘从该轮毂部的轴向后端沿径向突出,对该切削刀具进行支承,关于该控制单元,当使该主轴的轴心方向为Y轴方向时,所述计算部使该保持部与该轮毂部或该支承凸缘的前端的至少一个点接触,根据检测到导通的坐标而计算该轮毂部的该Y轴方向的坐标,该装卸控制部按照该计算部所计算的该轮毂部的该Y轴方向的坐标而进行该切削刀具的装卸。
根据本发明的另一方式,提供刀具更换单元,其将切削刀具相对于安装座的沿轴心方向延伸的轮毂部进行装卸,该切削刀具包含中央具有插入口的圆形基台以及配置于该圆形基台的外周缘的切刃,该安装座固定在加工装置的主轴前端,其中,该刀具更换单元具有:导电性的保持部,其对具有比该轮毂部大的开口的导电性的治具进行保持;移动单元,其使该刀具更换单元移动;以及控制单元,其对该移动单元进行控制,并且检测该保持部与该轮毂部的导通,该控制单元包含:计算部,其对该移动单元进行控制而使该保持部所保持的该治具与该安装座的至少三个点接触,根据检测到导通的坐标而计算该安装座的中心;以及装卸控制部,其使该保持部的中心与该计算部所计算的该安装座的中心对齐而进行该切削刀具的装卸。
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