[发明专利]一种加热器的保护装置

说明书

本发明提供了一种加热器的保护装置，包括加热器和坩埚，所述坩埚设置在所述加热器内，所述加热器上具有放置所述坩埚的加热槽，所述加热器通过加热槽对坩埚进行加热，所述加热器用于加热坩埚，所述坩埚用于盛放待加热物，还包括设置在加热器外的微波传感器和信号感应器，所述微波发生器设置在加热器外的一侧，所述微波发生器用于发出信号，所述信号感应器设置在加热器外正对微波发生器的一侧，所述信号感应器用于接收所述微波发生器发出并通过坩埚的信号。本技术方案可以及时避免坩埚内的待加热物而污染加热器或其它辅助器件，提高用于保护装置在使用过程中的安全性。

技术领域

本发明涉及蒸镀工艺技术领域，尤其涉及一种加热器的保护装置。

背景技术

在OLED真空蒸镀制备过程中，会使用金属材料作为阴极，而加热金属材料一般会使用点源坩埚，点源坩埚在降温的时候由于坩埚的材质在受到温度的降低后会出现裂纹或是裂缝，严重情况下如果坩埚里面的金属溶液随着温度降低时没有凝固则会沿着坩埚裂缝流出从而污染坩埚加热设备或是辅助器件(温度传感器或者防过烧热电偶)，导致需要人工对整个加热器进行拆卸更换及安装，不仅费时也费力，而且工程量大。

发明内容

为此，需要提供一种加热器的保护装置，解决无法及时发现坩埚出现裂缝，造成设备污染的问题。

为实现上述目的，发明人提供一种加热器的保护装置，包括加热器和坩埚，所述坩埚设置在所述加热器内，所述加热器上具有放置所述坩埚的加热槽，所述加热器通过加热槽对坩埚进行加热，所述加热器用于加热坩埚，所述坩埚用于盛放待加热物，其特征在于，还包括设置在加热器外的微波传感器和信号感应器，所述微波发生器设置在加热器外的一侧，所述微波发生器用于发出信号，所述信号感应器设置在加热器外正对微波发生器的一侧，所述信号感应器用于接收所述微波发生器发出并通过坩埚的信号。

进一步地，所述加热器上设置有辅助器件。

进一步地，辅助器件温度为传感器和/或防过烧热电偶。

进一步地，所述温度传感器和/或所述防过烧热电偶设置在加热槽的底部。

进一步地，还包括坩埚承载台，所述坩埚承载台设置在加热槽底部，所述坩埚承载台用于承载坩埚。

进一步地，还包括保护机构，所述保护机构设置在所述加热器上，所述保护机构用于保护辅助器件。

进一步地，所述保护机构包括转轴平台和伸缩式转轴，所述伸缩式转轴的一端设置在加热槽上，所述伸缩式转轴的另一端可转动连接所述转轴平台，所述伸缩式转轴用于转动或者升起转轴平台，所述转轴平台用于承载坩埚承载台，并带动坩埚承载台上升或旋转。

进一步地，所述坩埚承载台上具有通孔，通孔的大小和数量与辅助器件的大小和数量相同，通孔位置正对辅助器件的位置。

进一步地，所述微波传感器为多个，所述信号感应器为多个，多个微波传感器分别设置在加热器外的一侧，一个信号感应器分别正对一个微波传感器的方向。

进一步地，所述信号感应器电连接于PLC。

区别于现有技术，上述技术方案的微波发生器发出的微波信号会通过坩埚，再被信号感应器感应。如果坩埚壁出现不同程度的裂痕或是裂缝，信号感应器感应到微波信号的强度或者频率会有差异。根据不同微波信号的频率或者强度来检测坩埚完整性，即判断坩埚上是否出现裂缝或者裂纹，可以及时避免坩埚内的待加热物污染加热器或辅助器件，提高保护装置在使用过程中的安全性。

附图说明

图1为本实施例所述微波传感器和信号感应器的剖面结构示意图；

图2为本实施例所述多个微波传感器和多个信号感应器的剖面结构示意图；

图3为本实施例所述加热器的剖面结构示意图；