[发明专利]一种基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构在审

专利信息
申请号: 202010071831.3 申请日: 2020-01-21
公开(公告)号: CN111261734A 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 刘永;杜明 申请(专利权)人: 苏州众为光电有限公司
主分类号: H01L31/028 分类号: H01L31/028;H01L31/0232;H01L31/08;B82Y30/00
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 张川
地址: 215000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 石墨 金属 阵列 红外 波段 光吸收 增强 结构
【权利要求书】:

1.一种基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,包括从上至下依次层叠设置的石墨烯层(11)、金属微纳阵列层(12)、介质层(13)及基底层(14),其中,所述金属微纳阵列层(12)包括沿一阵列方向依次交替间隔设置的第一微纳颗粒列(121)与第二微纳颗粒列(122),所述第一微纳颗粒列(121)与第二微纳颗粒列(122)中均由若干等距间隔设置的金属微纳颗粒沿着各自的列队方向布置而成。

2.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述第一微纳颗粒列(121)与第二微纳颗粒列(122)中的金属微纳颗粒均为圆柱状结构。

3.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,假定所述第一微纳颗粒列(121)的阵列周期为P1,所述第二微纳颗粒列(122)的阵列周期为P2,所述第一微纳颗粒列(121)与第二微纳颗粒列(122)的总阵列周期为P,则有P=P1+P2

4.如权利要求3所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,P=340nm,P1=180nm,P2=160nm。

5.如权利要求2所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,假定所述第一微纳颗粒列(121)的金属微纳颗粒的直径为W1,所述第二微纳颗粒列(122)的金属微纳颗粒的直径为W2,所述第一微纳颗粒列(121)与第二微纳颗粒列(122)的高度为h,则有W1=160nm,W2=140nm,h=20nm。

6.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述基底层(14)由银金属制成。

7.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述基底层(14)的厚度为100nm。

8.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述介质层(13)为三氧化二铝。

9.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述介质层(13)的厚度为55nm。

10.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属微纳阵列的近红外宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述金属微纳阵列层(12)由银金属制成。

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