[发明专利]晶圆清洗设备的控制方法、控制装置及晶圆清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，包括：

获取所述晶圆清洗设备中每个工艺模块和机械手的状态；

根据每个所述工艺模块和所述机械手的状态以及工艺制程配方计算出新投入工件至完成整个工艺流程的过程中所述机械手的各种可行路径；

根据所述机械手每个动作的当前的设定完成时间计算执行每种所述可行路径的总花费时间，并将总花费时间最短的可行路径作为完成本次新投入工件的最优路径；

采集所述机械手执行所述最优路径过程中每个动作本次执行的实际完成时间，判断每个动作的所述实际完成时间是否满足预设的最大偏移量要求；

若一动作的所述实际完成时间满足所述最大偏移量要求，则根据该动作的所述实际完成时间对该动作的所述设定完成时间进行修正，并以修正后的所述设定完成时间参与该动作下一次的最优路径计算，否则仍以该动作当前的所述设定完成时间参与下一次的最优路径计算。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，通过以下公式判断每个动作的实际完成时间是否满足最大偏移量要求：

其中δ_max为设定的最大偏移量，α_n为任意一个动作第n次执行的实际完成时间，为该动作前n-1次执行的实际完成时间的平均值。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，所述根据该动作的所述实际完成时间对该动作的所述设定完成时间行进行修正，并以修正后的所述设定完成时间与该动作下一次的最优路径计算包括：

计算该动作的所述实际完成时间的权重比，根据所述权重比计算参与下一次最优路径计算的该动作的所述设定完成时间的比例系数，并根据所述比例系数和该动作的当前的所述设定完成时间计算参与下一次最优路径计算的该动作的所述设定完成时间。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，通过以下公式计算该动作的所述实际完成时间的权重比：

并通过以下公式计算该动作参与下一次最优路径计算的所述设定完成时间的比例系数：

其中，k为该动作第n次执行的实际完成时间的权重比，μ为该动作第n+1次执行的设定完成时间的比例系数，α_n为该动作第n次执行的实际完成时间，为该动作前n-1次执行的实际完成时间的平均值。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，通过以下公式计算该动作参与下一次最优路径计算的所述设定完成时间：

其中，α为该动作第n+1次执行的设定完成时间，α_n为该动作第n次执行的实际完成时间，为该动作前n-1次执行的实际完成时间的平均值，α'表示α在上一次计算中求得的值。

6.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，还包括：

若一动作的所述实际完成时间不满足所述最大偏移量要求，则丢弃该动作的所述实际完成时间。

7.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，所述工艺模块包括投入位、洗手位、多个有机化学液清洗槽位、多个快排冲洗槽位、升降梭位、甩干机位以及多个取出位。

8.根据权利要求7所述的晶圆清洗设备的控制方法，其特征在于，所述投入位、所述洗手位、所述多个取出位、所述多个有机化学液清洗槽位、多个快排冲洗槽位和甩干机位的状态包括可用和禁用；

所述升降梭位的状态包括升起和降落；

所述机械手的状态包括闲置、移动中和所处位置；

所述机械手的动作包括沿水平方向平移、沿竖直方向平移、抓取以及释放。