[发明专利]微机械惯性传感器

权利要求书

1.微机械惯性传感器(100)，具有：

-衬底；和

-附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，

-所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量在至少一个第二笛卡尔坐标方向(x、y；z)上具有至少约100g的高g加速度的探测能力。

2.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述振动质量(10)构造为z摆杆，该z摆杆借助于弹簧元件(40、41)和附接元件(50)居中地附接到所述衬底上，其中，所述弹簧元件(40、41)的宽度(B)分别在所述弹簧元件(40、41)的长度(L)的约2％和约5％之间。

3.根据权利要求1或2所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述振动质量(10)相对于x电极(11...14)和y电极的间距限定为大于布置在所述衬底上的z电极(30、31)相对于所述振动质量(10)的间距。

4.根据权利要求3所述的微机械z惯性传感器(100)，其特征在于，所述x电极(11...14)在所述振动质量(10)的横向延展尺度上在所述振动质量(10)的槽中连续地构造，其中，所述y电极(20...29)与所述x电极(11...14)分开地构造在所述振动质量(10)的槽中。

5.根据权利要求1或2所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，xy电极(11a...14b)在所述振动质量(10)的横向延展尺度上在所述振动质量(10)的槽中分别两件式地构造，其中，所述xy电极(11a...14b)能够交替地交叉电连接。

6.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述振动质量(10)在横向总延展尺度上不对称地构造，其中，在所述振动质量(10)下方，在相对于扭转轴而言相对置的区域上分别布置一个z电极(30、31)。

7.根据权利要求6所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述振动质量(10)在横向总延展尺度上的不对称性的程度优选小于约30％，优选为约2％至约5％、更优选为约10％至约20％、更优选为约25％至约30％。

8.根据权利要求7所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述振动质量(10)在横向总延展尺度上的不对称性的程度取决于沿z方向的探测能力地构造。

9.用于制造微机械惯性传感器(100)的方法，具有以下步骤：

-提供衬底；

-提供附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量构造成，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，

-所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量在至少一个第二笛卡尔坐标方向(x、y；z)上具有至少约100g的高g加速度的探测能力。