[发明专利]一种压电微泵及气体控制装置

权利要求书

1.一种压电微泵，其特征在于，包括：

共振件(1)，所述共振件(1)由外到内依次为板件部(11)、连接部(12)和共振部(13)，所述共振件(1)的一个面为平面，在所述共振件(1)的另一个面上，所述共振部(13)的中部形成凹陷结构(131)，所述连接部(12)上分布有出气孔(121)；

压电振子(2)，所述压电振子(2)与所述共振件(1)层叠设置，所述压电振子(2)靠近所述共振件(1)的平面，所述压电振子(2)上设置有进气孔，所述进气孔正对所述共振部(13)的凹陷结构(131)。

2.根据权利要求1所述的一种压电微泵，其特征在于，所述连接部(12)相对于相邻的板件部(11)和共振部(13)呈凹陷状。

3.根据权利要求1所述的一种压电微泵，其特征在于，所述共振部(13)及其上的凹陷结构(131)均为圆形，所述共振部(13)和所述凹陷结构(131)同轴并设置在所述板件部(11)的中部。

4.根据权利要求1所述的一种压电微泵，其特征在于，所述进气孔与所述共振部(13)同轴设置，所述压电振子(2)的靠近所述共振件(1)的面上围绕所述进气孔设置有凹槽(212)。

5.根据权利要求4所述的一种压电微泵，其特征在于，所述凹槽(212)为环形，所述凹槽(212)与所述进气孔同轴设置，所述共振部(13)的外径小于所述凹槽(212)的外径且大于所述凹槽(212)的内径。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种压电微泵，其特征在于，所述压电振子(2)包括层叠设置的基板(21)和压电元件(22)，所述基板(21)位于所述压电元件(22)和所述共振件(1)之间，所述压电振子(2)的远离所述共振板(1)的一端设置有电极组件(3)来为所述压电元件(22)供电。

7.根据权利要求6所述的一种压电微泵，其特征在于，所述电极组件(3)的远离所述压电振子(2)的一端设置有底板(4)，所述底板(4)上开有进气通孔(41)，所述底板(4)的内表面形成有延伸至所述进气通孔(41)的凹部(42)。

8.一种气体控制装置，其特征在于，包括：

权利要求1-7任一项所述的压电微泵；

漏气阀(6)，所述漏气阀(6)设置在所述共振件(1)的远离所述压电振子(2)的一侧，经所述压电微泵的出气孔(121)流出的气体进入到所述漏气阀(6)中。

9.根据权利要求8所述的一种气体控制装置，其特征在于，所述漏气阀(6)包括阀壳(61)，所述阀壳(61)内设置有隔膜结构(62)，所述隔膜结构(62)将阀壳(61)的内腔分隔为进气侧和出气侧，所述隔膜结构(62)上设有质量块(621)和气流通道(623)，位于进气侧的阀壳(61)上开有进气口(611)，位于出气侧的阀壳(61)上开有储气口(613)和出气口(612)，所述质量块(621)位于出气侧且对准所述出气口(612)，还包括控制气流通道(623)的气流通断的单向截止结构，当进气侧的气压大于所述出气侧的气压时，所述单向截止结构控制所述进气侧气流经气流通道流通(623)至出气侧，所述质量块(621)被推动覆盖关闭所述出气口(612)。