[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，

在将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，所述惯性传感器具有：

基板，具有在所述Z轴正方向侧开口的凹部；

可动体，绕沿着所述Y轴的摇动轴而摇动；

固定部，固定于所述基板，用于支承所述可动体；以及

止动件，固定于所述基板，并具有在沿所述Z轴方向的俯视观察下围绕在所述可动体周围的框状的支承部、以及配置于所述支承部的所述可动体侧的止动件主体，通过所述止动件主体与所述可动体接触来限制所述可动体的绕所述Z轴的旋转位移，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述基板的所述凹部的开口以在内侧内包所述可动体及所述止动件的方式，形成为比所述可动体及所述止动件更大，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述止动件与所述基板相接合的止动件接合区域位于将所述可动体在沿所述Y轴的方向上延长而得的第一区域内，

所述止动件的位于所述第一区域外的部分从所述基板分离，在所述止动件的Z轴负方向侧的表面和所述凹部的底面之间形成有第一间隙，并且在沿所述Z轴方向的俯视观察下在所述止动件与所述凹部的开口之间形成在X轴方向上的第二间隙。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述止动件接合区域位于将所述固定部在沿所述Y轴的方向上延长而得的第二区域内，

所述止动件的位于所述第二区域外的部分从所述基板分离。

3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述止动件接合区域与所述摇动轴重合。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的惯性传感器，其特征在于，

所述惯性传感器具有连接所述可动体和所述固定部的梁，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述止动件接合区域位于将所述梁在沿所述Y轴的方向上延长而得的第三区域内，

所述止动件的位于所述第三区域外的部分从所述基板分离。

5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述止动件和所述固定部是一体的，

所述固定部与所述基板相接合的固定部接合区域兼为所述止动件接合区域。

6.根据权利要求5所述的惯性传感器，其特征在于，

所述固定部位于所述可动体的外侧。

7.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述止动件与所述固定部是分开的，

所述止动件接合区域位于不同于所述固定部与所述基板相接合的固定部接合区域的位置处。

8.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，

所述固定部位于所述可动体的内侧。

9.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述可动体具备配置为夹着所述摇动轴的第一可动部和第二可动部，所述第二可动部绕所述摇动轴的转矩与所述第一可动部不同，所述惯性传感器具有：

第一固定检测电极，配置于所述基板，并与所述第一可动部相对；以及

第二固定检测电极，配置于所述基板，并与所述第二可动部相对。

10.一种电子设备，其特征在于，具有：

权利要求1至9中的任一项所述的惯性传感器；以及

控制电路，基于从惯性传感器输出的检测信号来进行控制。

11.一种移动体，其特征在于，具有：

权利要求1至9中的任一项所述的惯性传感器；以及

控制电路，基于从惯性传感器输出的检测信号来进行控制。