[发明专利]薄膜滤波器及其基体、薄膜滤波器及其基体的制造方法、MEMS麦克风及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜滤波器，包括：

薄膜部分，具有膜表面和布置在所述膜表面的后侧的后膜表面，

多个通孔，形成为从所述膜表面到所述后膜表面穿透所述薄膜部分，以及

条状内壁表面，具有沿着与所述膜表面相交的相交方向形成的条形部分，所述条状内壁表面形成在各个通孔内部。

2.根据权利要求1所述的薄膜滤波器，

其中，所述条形部分布置在所述各个通孔的几乎整个内表面中。

3.根据权利要求1所述的薄膜滤波器，

其中，所述条形部分形成为在长度上比作为所述薄膜部分的厚度的膜厚度的80％长。

4.根据权利要求1所述的薄膜滤波器，

其中，所述通孔在平面图中形成为圆形，

其中，所述薄膜滤波器包括分别具有所述通孔的第一通孔组和第二通孔组，

其中，所述第一通孔组具有第一通孔，所述第一通孔布置在与所述薄膜部分的外周端部的间隔被设定为第一间隔的位置，并且所述通孔以固定的间隔呈直线布置，

其中，所述第二通孔组具有第二通孔，所述第二通孔布置在与所述外周端部的间隔被设置为不同于所述第一间隔的第二间隔的位置，并且所述通孔以固定的间隔呈直线布置，

其中，在所述薄膜滤波器中，由所述第一通孔组形成的第一线和由所述第二通孔组形成的第二线交替布置。

5.根据权利要求2所述的薄膜滤波器，

其中，所述通孔在平面图中形成为圆形，

其中，所述薄膜滤波器包括分别具有所述通孔的第一通孔组和第二通孔组，

其中，所述第一通孔组具有第一通孔，所述第一通孔布置在与所述薄膜部分的外周端部的间隔被设定为第一间隔的位置，并且所述通孔以固定的间隔呈直线布置，

其中，所述第二通孔组具有第二通孔，所述第二通孔布置在与所述外周端部的间隔被设置为不同于所述第一间隔的第二间隔的位置，并且所述通孔以固定的间隔呈直线布置，

其中，在薄膜滤波器中，由所述第一通孔组形成的第一线和由所述第二通孔组形成的第二线交替布置。

6.根据权利要求4所述的薄膜滤波器，

其中，在所述薄膜滤波器中，包括所述第一通孔组中包括的所述通孔和所述第二通孔组中包括的所述通孔的相邻通孔被布置以形成以所述相邻通孔的中心为顶点的正三角形。

7.一种薄膜滤波器基体，包括：

底基体，具有底表面；和

薄膜滤波器，形成在所述底基体的所述底表面上，

其中，所述薄膜滤波器包括：薄膜部分，具有膜表面和设置在所述膜表面后侧的后膜表面；多个通孔，形成为以从所述膜表面到所述后膜表面穿透所述薄膜部分；以及条状内壁表面，具有沿着与所述膜表面相交的相交方向形成的条形部分，所述条状内壁表面形成在各个通孔内部。

8.根据权利要求7所述的薄膜滤波器基体，还包括：

能够剥离的剥离粘合层，

其中，所述剥离粘合层形成在所述底表面上，

其中，所述薄膜滤波器形成在所述剥离粘合层上。

9.根据权利要求7或8所述的薄膜滤波器基体，

其中，所述底基体包括通过规则的布置形成的多个分离区域，

其中，所述薄膜滤波器包括根据各个分离区域形成的多个滤波器区域，

其中，所述通孔和所述条状内壁表面形成在各个滤波器区域中。