[发明专利]一种硅片人工检测辅助设备在审
申请号: | 202010080963.2 | 申请日: | 2020-02-05 |
公开(公告)号: | CN111151467A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 青田林心半导体科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/02 | 分类号: | B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38;G01N21/88;G01N21/13 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 323900 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 人工 检测 辅助 设备 | ||
1.一种硅片人工检测辅助设备,包括支撑板,其特征在于:所述支撑板前端面左右对称固定设有支撑架,左右所述支撑架之间安装有输送带,所述支撑架上安装有动力电机,所述动力电机与所述输送带动力连接,所述输送带皮带表面上固定设有检测箱,所述检测箱中设有前后贯穿的放置腔,所述放置腔中安装有透明的玻璃,所述输送带皮带中设有前后贯穿的且与所述放置腔连通的通孔,所述支撑板前端面固定设有安装板,所述安装板前端面固定设有延伸至所述输送带皮带之间的照明灯管,操作人员在所述输送带的下侧,所述支撑板前端面设有可左右滑动的第一储料箱,所述第一储料箱中设有向前开口的第一储存腔,所述第一储存腔中储存有硅片,所述支撑板前端面设有第一抓取机构,所述第一抓取机构将所述硅片送入所述放置腔中,所述支撑板前端面设有位于所述第一抓取机构右侧的第二抓取机构,所述支撑板前端面设有可左右滑动的第二储料箱,所述第二储料箱中设有向前开口的第二储存腔,所述第二储存腔后壁设有向前开口的插入槽,一面检测结束后的所述硅片被所述第二抓取机构放置于所述第二储存腔中,所述支撑板前端面设有可上下滑动的运动板,所述运动板下端面固定设有第一电动导轨,所述第一电动导轨下侧安装有移动板,所述移动板下端面所述移动板下端面固定设有翻转电机,所述翻转电机下侧动力连接有转动轴,所述转动轴下侧固定设有传动板,所述传动板下端面固定设有两个翻转板,所述运动板向前运动将所述翻转板插入所述第二储存腔中后,所述移动板向前运动后,所述传动板旋转,将一面检测过的所述硅片进行翻面,翻面后所述第二储料箱运动至所述第一储料箱位置,所述第一抓取机构将翻面后的所述硅片放置于所述放置腔中。
2.根据权利要求 1 所述的一种硅片人工检测辅助设备,其特征在于:所述第一抓取机构包括固定设置于所述支撑板前端面的旋转电机,所述旋转电机前侧动力连接有旋转轴,所述旋转轴前端固定设有气缸,所述气缸前侧的活塞杆前端固定设有旋转杆,所述旋转杆后端面固定设有连接杆,所述连接杆后端固定设有真空吸盘。
3.根据权利要求 2 所述的一种硅片人工检测辅助设备,其特征在于:所述支撑板前端面设有第五电动导轨,所述第五电动导轨前侧安装有第三抓取机构,所述支撑板前端面设有位于所述第五电动导轨下侧的储存箱,所述检测箱左端设有用于对所述硅片分级的分类按钮,操作人员根据所述硅片的不同质量,按压相应的分类按钮,所述硅片正反面全部检测结束后,所述第三抓取机构将所述硅片根据质量等级状入不同的所述储存箱中。
4.根据权利要求 1 所述的一种硅片人工检测辅助设备,其特征在于:所述支撑板前端面左右对称设有第二电动导轨,所述运动板安装于所述第二电动导轨前侧。
5.根据权利要求 1 所述的一种硅片人工检测辅助设备,其特征在于:所述支撑板前端面设有向前开口的第一安装槽,所述第一安装槽中设有第三电动导轨,所述第一储料箱安装于所述第三电动导轨前侧,所述支撑板前端面设有向前开口的第二安装槽,所述第二安装槽中设有第四电动导轨,所述第二储料箱安装与所述第四电动导轨前侧。
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