[发明专利]光源装置以及全息观察装置有效

专利信息
申请号: 202010082550.8 申请日: 2020-02-07
公开(公告)号: CN111538222B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 近藤泰志;市野塚义行 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G03H1/00 分类号: G03H1/00;G03H1/02;G03H1/04;H01S5/065
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光源 装置 以及 全息 观察
【权利要求书】:

1.一种光源装置,与光纤连接,以从该光纤射出光,所述光源装置的特征在于,具备:

多个激光光源,所述多个激光光源分别射出波长不同的光;

电流源,其向所述多个激光光源的各激光光源供给叠加有交流成分的驱动电流;

光源控制部,其控制所述电流源,来选择性地切换所述多个激光光源;

多个光学系统,所述多个光学系统配置在所述各激光光源的光路中,使来自所述各激光光源的光朝向所述光纤的入射端反射,并且使被该入射端反射的返回光朝向所述各激光光源反射;以及

返回光调整部,其调整所述返回光的光量,以使从所述光纤射出的光的光谱连续地扩展,

其中,所述返回光调整部具有多个分光镜,基于由所述光源控制部选择出的激光光源,将与该激光光源对应的分光镜配置在所述多个光学系统与所述光纤的入射端之间,其中,所述多个分光镜与所述各激光光源的波长对应,其透射率基于所述返回光的光量进行设定。

2.根据权利要求1所述的光源装置,其特征在于,

所述多个光学系统的各光学系统沿着所述光纤的光轴配置,以使得从所述各光学系统朝向所述光纤的入射端的光的光路中心与所述光纤的光轴大致一致。

3.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

所述返回光调整部通过变更所述返回光相对于所述各激光光源的光轴的角度来调整所述返回光的光量。

4.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

所述返回光调整部通过变更所述各激光光源的光轴相对于所述多个光学系统的各光学系统的角度来调整所述返回光的光量。

5.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

还具备多个聚光透镜,所述多个聚光透镜分别配置在所述各激光光源与各光学系统之间,使来自所述各激光光源的光会聚,

所述返回光调整部通过变更所述多个聚光透镜的各聚光透镜相对于所述各激光光源的光轴的角度来调整所述返回光的光量。

6.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

所述多个光学系统的各光学系统是反射型带通滤波器,所述反射型带通滤波器具有平面的反射面,使来自与各光学系统对应的激光光源的光反射,并且使来自其它激光光源的光透过。

7.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

所述多个光学系统的各光学系统是反射型带通滤波器,所述反射型带通滤波器具有椭圆或抛物面的反射面,使来自与多个光学系统对应的激光光源的光反射,并且使来自其它激光光源的光透过。

8.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

所述交流成分的频率为50kHz~300kHz。

9.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

所述光纤的入射端成为相对于所述光纤的光轴倾斜3°~7°的锥形面。

10.根据权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,

所述多个光学系统的各光学系统具有第一光学元件和第二光学元件,其中,所述第一光学元件配置在所述各激光光源的光路中,使来自所述各激光光源的光朝向所述光纤的入射端反射,所述第二光学元件使被所述光纤的入射端反射的返回光朝向所述各激光光源反射。

11.一种全息观察装置,其特征在于,具备:

根据权利要求1至10中的任一项所述的光源装置;

照明光学系统,其使从所述光纤射出的光透过观察对象物体或被观察对象物体反射,使在该观察对象物体的不同位置透过或反射的光发生干涉;以及

图像传感器,其获取透过所述观察对象物体的光或被所述观察对象物体反射的光的干涉图像。

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