[发明专利]静电感测系统与静电感测组件

说明书

本发明公开一种静电感测系统与静电感测组件，其中该静电感测系统用以检测一流体传输元件内的一流体的静电信息。静电感测系统包含一静电感测组件、一信号放大元件及一模拟数字转换元件。静电感测组件包含一感测元件及一保护罩。感测元件用以设置于流体传输元件，且感测元件贯穿流体传输元件而部分位于流体传输元件内。保护罩将感测元件位于流体传输元件内的部分围绕于内，且保护罩的至少部分位于感测元件的上游处。信号放大元件电连接于感测元件。模拟数字转换元件电连接于信号放大元件。其中，保护罩具有一开口，感测元件与开口相分离。

技术领域

本发明涉及一种静电感测系统与静电感测组件，特别是涉及一种接触式的静电感测系统与静电感测组件。

背景技术

近年来，随着电子零件的细微化和高集成化，静电放电(ESD)引起的静电破坏情况不断增大。但是肉眼看不见静电，因此存在难以捕捉其现象并预防的问题。所谓静电破坏，就是由于静电导致本来绝缘的线路模型之间短路，致使集成线路(IC)等电子零件损坏的现象。集成线路(IC)等电子零件若因静电放电导致大量电流流过，则绝缘性高的氧化硅等薄膜(绝缘层)会遭到破坏，进而破坏到内部线路。特别是近年来随着电子零件转往小型集中化发展，对静电故障的敏感性也变得非常大。例如:半导体产业，只需大约80～100V的电压，就会丧失作为半导体的功能。而人体只需大约3KV的电压就会感觉到稍微刺痛。因此，制造厂商需要更进一步的对静电对策做管理。

发明内容

本发明的目的在于提供一种静电感测系统与静电感测组件，除了提升静电感测系统与静电感测组件的感测精准度外，又可以避免静电感测系统与静电感测组件污染受感测的流体。

本发明的一实施例所揭露的静电感测系统，用以检测一流体传输元件内的一流体的静电信息。静电感测系统包含一静电感测组件、一信号放大元件及一模拟数字转换元件。静电感测组件包含一感测元件及一保护罩。感测元件用以设置于流体传输元件，且感测元件贯穿流体传输元件而部分位于流体传输元件内。保护罩将感测元件位于流体传输元件内的部分围绕于内，且保护罩的至少部分位于感测元件的上游处。信号放大元件电连接于感测元件。模拟数字转换元件电连接于信号放大元件。其中，保护罩具有一开口，感测元件与开口相分离。

本发明的另一实施例所揭露的静电感测组件包含一感测元件及一保护罩。感测元件用以设置于流体传输元件，且感测元件贯穿流体传输元件而部分位于流体传输元件内。保护罩将感测元件位于流体传输元件内的部分围绕于内，且保护罩的至少部分位于感测元件的上游处。其中，保护罩具有一开口，感测元件与开口相分离。

根据上述实施例的静电感测系统与静电感测组件，通过保护罩将感测元件位于流体传输元件内的部分围绕于内，且保护罩的至少部分位于感测元件的上游处，以及感测元件与开口相分离的设计，能进一步让流体传输元件内的流体流至感测元件的流速接近为零甚或等于零。

以上关于本发明内容的说明及以下实施方式的说明是用以示范与解释本发明的原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明第一实施例所述的静电感测组件装设于流体传输元件的剖面示意图；

图2为本发明第一实施例所述的静电感测系统的方块示意图；

图3为本发明第二实施例所述的静电感测系统的方块示意图。

符号说明

10、10a...静电感测系统

20...流体传输元件

22...环形内壁面

100...静电感测组件

110...感测元件

120...保护罩

121...第一环体