[发明专利]一种测量微量元素的X射线检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种测量微量元素的X射线检测装置，包括设置在待测样品同侧的第一X射线源和第一X射线探测器，所述第一X射线源与待测样品之间还设置有X射线聚焦镜，所述第一X射线探测器用于接收由所述第一X射线源激发的待测样品中微量元素发出的X射线荧光，其特征在于，还包括预扫描机构，所述预扫描机构包括第二X射线源和第二X射线探测器，所述第二X射线源发出的X射线照射在所述待测样品上的光斑较所述第一X射线源发出的X射线照射的光斑大，所述第二X射线探测器用于接收由所述第二X射线源激发的待测样品中微量元素发出的X射线荧光；

所述第一X射线源采用反射式X射线靶，所述X射线聚焦镜采用双抛物线聚焦镜片，所述双抛物线聚焦镜片用于产生小于8μm的光斑，且聚焦后的X射线光斑能量分布均匀，工作距离达到5cm；

所述第二X射线源采用窗式靶X射线源或终端靶式X射线源，且所述第二X射线源与第一X射线源分别设置在所述待测样品的两侧，所述第二X射线源包括多个，多个所述第二X射线源采用不同角度固定的方式分布式设置，且多个所述第二X射线源照射待测样品的同一区域；

所述预扫描机构还包括温度监测机构，所述温度监测机构包括控制器和与其连接的多个温度传感器，多个所述温度传感器分别与多个分布式所述第二X射线源一一对应连接，用于分别检测所述第二X射线源的温度，所述控制器根据每个温度传感器的温度信号分别控制一个或多个所述第二X射线源的开启和关闭；

所述X射线检测装置还包括智能分析系统和机械传动系统，所述智能分析系统包括依次连接的人工智能图像识别模块、数据处理模块和控制模块，

所述人工智能图像识别模块与所述第二X射线探测器连接，用于接收所述第二X射线探测器采集的数据，并对数据信号进行图像识别，传送至所述数据处理模块；

所述数据处理模块，用于对图像识别结果进行分析处理，得出所测样品中微量元素的分布区域，并将结果发送至所述控制模块；

所述控制模块与所述机械传动系统连接，用于根据所述微量元素的分布区域结果控制所述机械传动系统带动待测样品进行XYZ轴方向的移动，以便实现所述第一X射线源的精细扫描。

2.根据权利要求1所述的测量微量元素的X射线检测装置，其特征在于，所述第二X射线探测器采用超导量子干涉仪热度计或CCD X射线探测器。

3.根据权利要求2所述的测量微量元素的X射线检测装置，其特征在于，所述第二X射线探测器与所述待测样品之间设置有编程多孔径准直器。

4.根据权利要求1所述的测量微量元素的X射线检测装置，其特征在于，所述第二X射线源和第二X射线探测器设置在所述待测样品的同一侧。

5.根据权利要求1所述的测量微量元素的X射线检测装置，其特征在于，所述第一X射线探测器采用硅漂移探测器，且所述第一X射线探测器包括多个，分别设置在所述第一X射线源X射线照射靶点的周边。

6.根据权利要求5所述的测量微量元素的X射线检测装置，其特征在于，与所述第一X射线探测器相对应的所述待测样品的另一边还设置有第三X射线探测器，所述第三X射线探测器用于同时接收由所述第一X射线源激发的待测样品中微量元素发出的X射线荧光。

7.根据权利要求6所述的测量微量元素的X射线检测装置，其特征在于，所述第三X射线探测器包括多个，分别设置在所述第一X射线源X射线照射靶点的周边。