[发明专利]有源矩阵基板、液晶显示装置以及内嵌式触控面板

权利要求书

1.一种有源矩阵基板，具有由多个像素构成的图像显示区域以及围着所述图像显示区域的边框区域，

所述有源矩阵基板具备：

被设置在所述多个像素的每一个的像素电极；

与一个以上的所述像素电极相对的公共电极；

被设置在所述图像显示区域的信号线；以及

被设置在所述边框区域，与所述信号线电连接的端子，

所述端子具有：

金属层；

第1接触层，与所述金属层相比位于层叠方向一侧，与所述金属层电连接；

第1层间绝缘层，与所述第1接触层相比，位于所述层叠方向一侧；以及

第2接触层，与所述第1层间绝缘层相比，位于所述层叠方向一侧，并且经由被形成在所述第1层间绝缘层的第1通孔，与所述第1接触层电连接，

所述第1接触层由透明金属氧化物或掺杂了杂质的半导体材料构成。

2.如权利要求1所述的有源矩阵基板，

所述端子进一步具有位于所述金属层与所述第1接触层之间的第2层间绝缘层，

所述第1接触层经由被形成在所述第2层间绝缘层的第2通孔，与所述金属层电连接。

3.如权利要求2所述的有源矩阵基板，

所述第1接触层至少在所述第2通孔，与所述金属层接触。

4.如权利要求2所述的有源矩阵基板，

所述端子进一步具有位于所述第1接触层与所述第2接触层之间的第2金属层，

所述第2金属层至少在所述第1通孔，与所述第2接触层接触，

所述第2金属层至少在所述第2通孔，与所述第1接触层接触。

5.如权利要求2至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述第2层间绝缘层由被层叠的多个绝缘膜构成。

6.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

在对所述有源矩阵基板进行俯视时，所述第1通孔与所述第2通孔不重叠。

7.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

在所述端子形成有多个所述第1通孔，

在对所述有源矩阵基板进行俯视时，在所述第2通孔中包括多个所述第1通孔。

8.如权利要求7所述的有源矩阵基板，

在所述有源矩阵基板的截面中，所述第2通孔的宽度比所述第1通孔的宽度大。

9.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述第1层间绝缘层由被层叠的多个绝缘膜构成。

10.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述第2接触层被形成在与所述像素电极相同的层。

11.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述第1接触层被形成在与所述公共电极相同的层。

12.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述金属层被形成在与所述信号线相同的层。

13.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述有源矩阵基板进一步具备被设置在所述多个像素的每一个的晶体管，

所述金属层被形成在与所述晶体管的源漏电极相同的层。

14.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述有源矩阵基板具有数据线，以作为所述信号线之一，

所述端子是源极端子。

15.如权利要求1至4的任一项所述的有源矩阵基板，

所述有源矩阵基板具有栅极线，以作为所述信号线之一，

所述端子是栅极端子。