[发明专利]电子束增材制造设备聚焦电流特征参数收集装置和方法

权利要求书

1.电子束增材制造设备聚焦电流特征参数收集装置，其特征是，包括设置在电子束增材制造设备的真空室内的接收组件和设置在电子束增材制造设备的真空室外的信号处理系统；

接收组件由2个支架即给料支架(1)和收料支架(2)、2个水平滚轴即给料水平轴(3)和收料水平轴(4)、2个卷筒即给料卷筒(5)和收料卷筒(6)、金属膜(7)、卷料电机(8)和束流接收金属板(9)组成；给料支架(1)和收料支架(2)相对设置，且两者之间存在一定距离；给料卷筒(5)和给料水平轴(3)安装在给料支架(1)上，且给料水平轴(3)位于给料卷筒(5)的正上方；收料卷筒(6)和收料水平轴(4)安装在收料支架(2)上，且收料水平轴(4)位于电机的正上方；给料卷筒(5)、收料卷筒(6)、给料水平轴(3)和收料水平轴(4)这四者的中轴线相互平行；给料水平轴(3)和收料水平轴(4)的中轴线处于同一水平高度上；金属膜(7)的一端固定在给料卷筒(5)上，金属膜(7)的另一端依次经由给料水平轴(3)和收料水平轴(4)固定在收料卷筒(6)上；给料水平轴(3)和收料水平轴(4)之间的金属膜(7)即工作段铜模保持水平状态，且工作段金属膜(7)的上表面与电子束增材制造设备工作平台的工作平面重合；工作段金属膜(7)的覆盖区域为电子束增材制造设备的电子束扫描工作区；卷料电机(8)的输出轴与收料卷筒(6)相连，当卷料电机(8)带动收料卷筒(6)转动时，卷缠在给料卷筒(5)上的铜模经过给料水平轴(3)和收料水平轴(4)后，卷缠在收料卷筒(6)上；束流接收金属板(9)由可导电的金属构成，并放置在工作段金属膜(7)的正下方；束流接收金属板(9)与电子束增材制造设备的真空室的内壁电气隔离；束流接收金属板(9)通过导线与信号处理系统连接，当电子束增材制造设备发出的电子束击穿工作段金属膜(7)后照射到束流接收金属板(9)，照射到束流接收金属板(9)上的电子形成电流信号导入至信号处理系统。

2.根据权利要求1所述的电子束增材制造设备聚焦电流特征参数收集装置，其特征是，束流接收金属板(9)的底部设有绝缘垫片(10)。

3.根据权利要求1所述的电子束增材制造设备聚焦电流特征参数收集装置，其特征是，给料水平轴(3)和收料水平轴(4)的形状和尺寸完全相同。

4.根据权利要求3所述的电子束增材制造设备聚焦电流特征参数收集装置，其特征是，给料卷筒(5)和收料卷筒(6)的中轴线处于同一水平高度上。

5.根据权利要求1所述的电子束增材制造设备聚焦电流特征参数收集装置，其特征是，金属膜(7)的整体厚度一致。