[发明专利]一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺

权利要求书

1.一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，包括：键合基板(2)，支撑框架(1)，驱动质量块(3、4)，检测质量块(5、6)，中心质量块(13)，驱动组件和检测组件；

所述支撑框架(1)设置在所述键合基板(2)上，所述支撑框架(1)内侧面上分别开设有驱动座槽和检测座槽，所述驱动质量块(3、4)分别设置在驱动座槽内并通过驱动组件与支撑框架(1)连接；

所述驱动质量块(3、4)远离支撑框架(1)中心一侧设置有可动梳齿(23、31)，所述驱动座槽内对应可动梳齿(23、31)的位置设置有固定梳齿(22、30)，所述可动梳齿(23、31)与固定梳齿(22、30)交叉配合；

所述检测质量块(5、6)分别设置在所述检测座槽内并通过检测组件与所述支撑框架(1)连接，所述检测质量块(5、6)上设置有可动光栅(20、21)；

所述中心质量块(13)设置在所述支撑框架(1)中心位置，所述中心质量块(13)通过驱动组件与相邻的检测质量块(5、6)连接，所述中心质量块(13)通过检测组件与相邻的驱动质量块(3、4)连接；

所述键合基板(2)上设置有凹槽，所述凹槽内两端对应所述可动光栅(20、21)的位置对称设置有固定光栅(24、25)。

2.根据权利要求1所述的光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，所述驱动座槽设置在支撑框架(1)内侧以Y轴为中心对称的两个内侧面上，所述检测座槽设置在支撑框架(1)内侧以X轴为中心对称的两个内侧面上。

3.根据权利要求1所述的光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，所述可动光栅(20、21)和固定光栅(24、25)均由多个单光栅组成，所述单光栅沿X轴方向设置，多个所述单光栅沿Y轴方向均匀间隔排列。

4.根据权利要求3所述的光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，所述可动光栅(20、21)与所述固定光栅(24、25)上下交叉排列。

5.根据权利要求1所述的光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，所述驱动组件包括：驱动反馈结构(7、8)和驱动结构(9、10、11、12)，所述驱动反馈结构(7、8)和驱动结构(9、10、11、12)均沿Y轴方向设置，其中一个驱动质量块(4)两侧通过驱动结构(9)、(10)与所述支撑框架(1)连接，另一个驱动质量块(3)两侧通过驱动反馈结构(7、8)与所述支撑框架(1)连接。

6.根据权利要求5所述的光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，所述驱动反馈结构(7、8)和驱动结构(9、10、11、12)均由驱动梁(27)和驱动连接块(26)组成，四根所述驱动梁(27)沿Y轴平行设置且一端均与驱动连接块(26)连接，外侧两根驱动梁(27)另一端与所述驱动质量块(3、4)或中心质量块(13)连接，内侧两根驱动梁(27)另一端与支撑框架(1)或检测质量块(5、6)连接。

7.根据权利要求1所述的光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，所述检测组件包括：检测结构(14、15、16、17、18、19)，所述检测结构(14、15、16、17、18、19)均沿X轴方向设置。

8.根据权利要求7所述的光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，其特征在于，所述检测结构(14、15、16、17、18、19)由检测梁(29)和检测连接块(28)组成，四根所述检测梁(29)沿X轴平行设置且一端均与检测连接块(28)连接，外侧两根检测梁(29)另一端与所述检测质量块(5、6)或中心质量块(13)连接，内侧两根检测梁(29)另一端与支撑框架(1)或驱动质量块(3、4)连接。