[发明专利]真空设备用小车送料装置

权利要求书

1.一种真空设备用小车送料装置，其特征在于，包括支架、样品台、承载板及传动机构；所述样品台可滑动地设置在所述支架上；所述承载板固定在所述样品台的下方，与所述样品台相配合，以承载样品；所述传动机构用于带动所述样品台相对于所述承载板进行移动，使得所述样品在所述承载板的摩擦力带动下能够沿所述样品台的移动方向进行自转,以使样品上与承载板相接触的表面能够被镀膜。

2.根据权利要求1所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述样品台包括框架及多列相互平行的金属丝；所述金属丝的末端分别固定在所述固定框上，从而形成多个沿样品台的移动方向进行延伸的固定槽；所述样品可转动的设置在所述固定槽与所述承载板共同形成的容置空间内。

3.根据权利要求2所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述多列金属丝之间还形成多个间隔槽，每相邻两个容置槽之间具有至少一个所述间隔槽。

4.根据权利要求2所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述支架上开设有导向槽；所述样品台的底部还设置有导向件；所述导向件与所述导向槽相配合，用于引导所述样品台沿所述导向槽进行移动。

5.根据权利要求4所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述导向件为滚轮。

6.根据权利要求1所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述传动机构包括驱动件、动密封件、联轴器及链轮组件；所述动密封件的一端通过所述联轴器与所述驱动件连接，另一端与所述链轮组件固定连接；所述样品台的外侧设置有推动杆，所述推动杆与所述链轮组件固定，使得所述驱动件能够带动所述样品进行移动。

7.根据权利要求6所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述链轮组件包括链轮、链条、从动轴及连杆；所述链轮与所述动密封件同轴设置；所述链条的一端套设在所述链轮上且与所述链轮相耦合，另一端套设在所述从动轴上，使得所述链轮转动时能带动所述链条进行移动；所述连杆的一端固定在所述链条上，另一端与所述推动杆固定连接。

8.根据权利要求1所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述支架的底部设置有车轮，以利于所述支架的移动。

9.根据权利要求8所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述车轮与所述支架的连接部设置有绝缘垫。

10.根据权利要求8所述的真空设备用小车送料装置，其特征在于，所述真空设备用小车送料装置还包括导轨，其固定在真空设备的底部，用于引导所述车轮的移动方向。