[发明专利]一种电可调控波长的纳米激光器在审

专利信息
申请号: 202010092752.0 申请日: 2020-02-14
公开(公告)号: CN111525393A 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 潘安练;杨鑫;陈舒拉 申请(专利权)人: 湖南大学
主分类号: H01S5/062 分类号: H01S5/062;H01S5/04;H01S5/30;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 代理人: 蒋太炜
地址: 410082 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 调控 波长 纳米 激光器
【权利要求书】:

1.一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:所述的纳米激光器包括单根单晶硫化镉纳米带、泵浦光源、电压源表、ITO电极;

所述的硫化镉纳米带横跨ITO电极沟道,并通过ITO电极对沟道部分硫化镉施加外加偏压;

所述的ITO电极具有预先设计的图案,使用光刻工艺制备。

2.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:所述的单晶硫化镉纳米带的厚度为100-120纳米,宽度为3-6微米,长度为13-17微米。

3.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:所述的泵浦光源为470纳米的飞秒光,其重复频率为1KHZ,脉宽为120fs。

4.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:所述信号光源的波长范围为510~520纳米。

5.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:所述的电压源表为Keithley 2400。

6.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于,单晶硫化镉纳米带的制备方法,包括下列步骤:

将CdS粉末作为源放入陶瓷舟中,然后将陶瓷舟放入炉中加热,最后将镀有金膜的硅片放置在石英管的下游位置进行沉积;在生长之前,用高纯氩气以45-65sccm的流量冲洗石英管腔;然后在25-35分钟内将炉温升至780-820℃,并保持恒温80-120分钟;整个生长过程保持在280-320Torr的压力下;最后,将炉膛自然冷却至室温。

7.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:所述CdS粉末的纯度大于等于99.999%;所述高纯氩气的纯度大于等于99.999%。

8.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:ITO电极的沟道长度为6-7微米。

9.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于,所述的ITO电极是通过下列步骤制备的:

取整块的ITO玻璃,切割成特定尺寸,旋涂一层光刻胶,经过前烘曝光后烘显影后,在光刻胶上形成具有预先设计的图案;最后将ITO玻璃放入ITO刻蚀液中刻蚀,经过洗涤,干燥后可形成具有图案的ITO电极;本过程使用的光刻胶为负光刻胶。

10.根据权利要求1所述的一种电可调控波长的纳米激光器,其特征在于:电调控的波长幅度可达到10纳米。

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