[发明专利]一种微细线路修复材料及其修复方法在审

专利信息
申请号: 202010092913.6 申请日: 2020-02-14
公开(公告)号: CN111146182A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 崔成强;杨斌;叶怀宇;张国旗 申请(专利权)人: 深圳第三代半导体研究院
主分类号: H01L23/525 分类号: H01L23/525;H01L23/532;H01L21/768
代理公司: 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 代理人: 阎冬
地址: 518055 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 微细 线路 修复 材料 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种微细线路修复材料,其特征在于:该线路修复材料包括金属内芯、包裹部分所述金属内芯的焊料部;所述金属内芯端部设有夹载部,所述焊料部为纳米金属膏体焊料;所述纳米金属膏体焊料包括纳米金属颗粒、抗氧化剂、助焊剂、稳定剂、活性剂;所述纳米金属颗粒含量为50.0wt-95.0wt.%、抗氧化剂含量为5.0wt–40wt.%,助焊剂、稳定剂和活性剂总量≤5.0wt.%。

2.如权利要求1所述的微细线路修复材料,其特征在于:所述纳米金属颗粒包括纳米铜、纳米银和M@Cu纳米结构;所述M@Cu纳米结构为以铜为核层、金属M为壳层的壳核结构;所述金属M选自Au、Ag、Ni。

3.如权利要求1所述的微细线路修复材料,其特征在于:所述金属内芯横截面形状为圆形或矩形;所述金属内芯宽度为10nm-100nm;所述金属内芯直径可为20μm-100μm;所述金属内芯材料选自铜、金属锡、金、银。

4.如权利要求1所述的微细线路修复材料,其特征在于:所述纳米金属膏体焊料厚度为20μm-100μm。

5.如权利要求1所述的微细线路修复材料,其特征在于:所述抗氧化剂为聚乙烯吡咯烷酮、油酸、油胺、乙醇胺、三乙醇胺、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、苯并咪唑的一种或几种。

6.如权利要求1所述的微细线路修复材料,其特征在于:所述助焊剂为乳酸及其衍生物、柠檬酸及其衍生物、非活性化松香及其衍生物或活性化松香及其衍生物。

7.如权利要求1所述的微细线路修复材料,其特征在于:所述稳定剂为咪唑类化合物及其衍生物、聚乙烯吡咯烷酮、有机烯类聚合物、有机烯与有机醇、有机酮、有机酸、铵类合成的聚合物、十六烷基溴化铵、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、聚乙二醇及含羟基、羧基类有机聚合物中的一种或几种。

8.一种微细线路修复方法,采用如权利要求1-7任一所述的修复材料,实施如下步骤:

S1:将所述修复材料夹载置于封装元器件线路缺陷断路处;

S2:激光头定位,利用高能激光束快速融化所述纳米金属膏体焊料以局部修复缺损电路。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳第三代半导体研究院,未经深圳第三代半导体研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010092913.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top