[发明专利]一种光致电流瞬态谱自动化分析方法与系统

权利要求书

1.光致电流瞬态谱自动化分析方法，其特征是，采用波长270nm的激光器，通过斩波器的调制形成100±50HZ的方波激发光源，照射在被测样品表面，通过被测样品材料价带至导带间的光吸收，在导带形成过剩载流子，并在空间电荷区驱动至外部电路，形成光致电流；激发光源为方波形式，即前半周期样品处于光激发状态，而后半周期则无光激发；当在光照激发条件下，光吸收形成的过剩载流子会被半导体样品中的深能级陷阱缺陷俘获；而无光照时，深能级陷阱缺陷将释放出过剩载流子，这些载流子则是无光照条件下形成的过剩载流子，同样也会被外部电路收集形成电流，通过这一电流强度及电流随时间的变化关系，获得深能级缺陷的能级位置及陷阱密度信息。

2.根据权利要求1所述的光致电流瞬态谱自动化分析方法，其特征是，外部电路收集形成电流的电路是，过剩载流子经由电连接接头流过一个取样电阻，在取样电阻两端产生电压，此时载流子所表示的电流信号被转换为电压信号，并将电压值与当前温度进行对应的测量，得到深能级缺陷的能级位置及陷阱密度。

3.一种根据权利要求1-2之一所述的光致电流瞬态谱自动化分析方法进行光致电流瞬态谱自动化分析系统，其特征是，包括PC计算机，斩光器，激光器，示波器，低温恒温器，温控仪；样品放在低温恒温器的样品台上，低温恒温器有两个接头，第一接头外接温控仪，内接热电偶及温度传感器，第二接头外接示波器，内接样品；激光器发射的激光通过斩波器后打到样品表面；PC计算机通过数据线连接示波器，信号源，温控仪，PC计算机控制示波器采集数据，控制温控仪升温以及采集数据；在测量系统中，过剩载流子经由第二接头流过采样电阻，在电阻两端产生电压，此时载流子所表示的电流信号被转换为电压信号，PC计算机控制示波器采集，并将电压值与当前温度存储至PC计算机。