[发明专利]搬送托盘和被加工物的加工方法在审
申请号: | 202010095644.9 | 申请日: | 2020-02-17 |
公开(公告)号: | CN111584412A | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 金子智洋;石井茂;水岛亮;大室喜洋;高桥昌之;平贺洋行;花冈庆祐;阿部大辉 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 托盘 加工 方法 | ||
1.一种搬送托盘,其对多个芯片进行收纳并进行搬送,其特征在于,
该搬送托盘具有:
托盘主体,其具有器件支承部和框体,该器件支承部具有对多个芯片进行支承的正面,该框体围绕该器件支承部的外周而形成;
记录介质,其设置于该托盘主体且能够通过无线通信而写入或读取信息;以及
识别标记,其识别该搬送托盘是否是能够对该记录介质进行写入的种类。
2.根据权利要求1所述的搬送托盘,其特征在于,
该搬送托盘具有粘性层,该粘性层安装于该托盘主体的器件支承部的正面上并具有粘性力。
3.一种被加工物的加工方法,将芯片收纳于权利要求1或2所述的搬送托盘,其特征在于,
该被加工物的加工方法具有如下的步骤:
加工步骤,对被加工物进行加工而形成多个芯片;
收纳步骤,将该多个芯片收纳于该搬送托盘;
判别步骤,利用拍摄单元对该识别标记进行拍摄,判别该搬送托盘是否是能够对该记录介质进行写入的种类;以及
记录步骤,在判定为该搬送托盘的种类是能够进行写入的种类的情况下,将该加工步骤中的信息记录于该记录介质中。
4.根据权利要求3所述的被加工物的加工方法,其特征在于,
该搬送托盘具有粘性层,该粘性层安装于该托盘主体的器件支承部的正面上并具有粘性力。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科,未经株式会社迪思科许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010095644.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造