[发明专利]搬送托盘和被加工物的加工方法在审

专利信息
申请号: 202010095644.9 申请日: 2020-02-17
公开(公告)号: CN111584412A 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 金子智洋;石井茂;水岛亮;大室喜洋;高桥昌之;平贺洋行;花冈庆祐;阿部大辉 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/67
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 乔婉;于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 托盘 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种搬送托盘,其对多个芯片进行收纳并进行搬送,其特征在于,

该搬送托盘具有:

托盘主体,其具有器件支承部和框体,该器件支承部具有对多个芯片进行支承的正面,该框体围绕该器件支承部的外周而形成;

记录介质,其设置于该托盘主体且能够通过无线通信而写入或读取信息;以及

识别标记,其识别该搬送托盘是否是能够对该记录介质进行写入的种类。

2.根据权利要求1所述的搬送托盘,其特征在于,

该搬送托盘具有粘性层,该粘性层安装于该托盘主体的器件支承部的正面上并具有粘性力。

3.一种被加工物的加工方法,将芯片收纳于权利要求1或2所述的搬送托盘,其特征在于,

该被加工物的加工方法具有如下的步骤:

加工步骤,对被加工物进行加工而形成多个芯片;

收纳步骤,将该多个芯片收纳于该搬送托盘;

判别步骤,利用拍摄单元对该识别标记进行拍摄,判别该搬送托盘是否是能够对该记录介质进行写入的种类;以及

记录步骤,在判定为该搬送托盘的种类是能够进行写入的种类的情况下,将该加工步骤中的信息记录于该记录介质中。

4.根据权利要求3所述的被加工物的加工方法,其特征在于,

该搬送托盘具有粘性层,该粘性层安装于该托盘主体的器件支承部的正面上并具有粘性力。

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