[发明专利]一种基于范德华异质结的非易失光存储单元及其制备方法有效
申请号: | 202010096346.1 | 申请日: | 2020-02-17 |
公开(公告)号: | CN111276561B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 彭波;周思宇;王雅倩 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L31/108 | 分类号: | H01L31/108;H01L31/02;H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00;G11C13/04 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 闫树平 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 范德华异质结 非易失光 存储 单元 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于范德华异质结的非易失光存储单元,其特征在于:
包括两个电极、两层石墨烯层以及量子点层;量子点层设置于两层石墨烯层之间,构成石墨烯/量子点/石墨烯的三层垂直异质结构,两电极分别制作在两层石墨烯上;两层石墨烯与量子点在垂直方向上有重叠区域;整个基于范德华异质结的非易失光存储单元的总厚度为6-20nm;
所述量子点层作为吸光层,石墨烯层不仅充当电子传输的高速通道,而且还是量子点层的保护层,整个非易失光存储单元通过光照作为写入,在两个电极间施加电场,以电阻状态做为读出。
2.如权利要求1所述基于范德华异质结的非易失光存储单元,其特征在于:
覆盖在量子点层上的石墨烯层为完全覆盖,作为量子点层的保护层,以防止其在暴露于周围环境后被损坏。
3.如权利要求1所述基于范德华异质结的非易失光存储单元,其特征在于:所述电极为金、银、铜、铬或铝。
4.如权利要求1所述基于范德华异质结的非易失光存储单元,其特征在于:使用的硅/二氧化硅作为基底,两层石墨烯层均为单层石墨烯,量子点层为排列均匀的单层量子点薄膜。
5.如权利要求1所述基于范德华异质结的非易失光存储单元,其特征在于:所述量子点层材料为CdSe、CdS、CdTe或ZnS。
6.如权利要求1所述基于范德华异质结的非易失光存储单元的制备方法,包括如下步骤:
步骤1、选用硅/二氧化硅基片作为基底,基片经过氧离子轰击;
步骤2、在石墨烯上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯PMMA,用饱和三氯化铁溶液溶解掉铜后,将石墨烯转移到步骤1所得的基底上,再用丙酮溶液去除PMMA;
步骤3、取10μL量子点溶液,将其滴入5mL的乙腈溶液中,待量子点漂浮在乙腈溶液表面形成一层单原子层薄膜;
步骤4、将步骤2所制得的样品浸入步骤3制得的溶液中捞起量子点薄膜,待其自然风干,其中需保证量子点薄膜落在石墨烯上;
步骤5、采用步骤2的转移技术,用胶带粘取一块旋涂有PMMA的石墨烯,用饱和三氯化铁溶液溶解掉铜后,将石墨烯转移到步骤4所得样品的量子点薄膜上,形成石墨烯/量子点/石墨烯三层结构,并保证两层石墨烯与量子点在垂直方向上有重叠区域;
步骤6、在两层石墨烯上分别制备金属电极,即可制得基于范德华异质结的非易失光存储单元。
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