[发明专利]进气组件和扩散设备

说明书

本发明涉及一种进气组件和扩散设备。进气组件包括至少两个进气装置，每一个进气装置包括输送管道和调节部件。输送管道的首端位于炉体外部并与气源相连通，输送管道的末端位于炉体内的预定送气位置；调节部件构造为能够独立于其他进气装置直接或间接地调节输送管道内的气体的特定气体参数。其中，各个进气装置的输送管道的末端位置之间存在间隔。本发明的进气组件包括至少两个进气装置，各个进气装置通过相对于彼此独立的进气管道向炉体输送特定气体，且各个进气装置的进气管道在炉体内的预定送气位置不同，使得炉体内的各个位置处的特定气体均匀、稳定，使得生产得到的太阳能电池片具有均匀的方阻。

技术领域

本发明涉及太阳能电池及其制造领域，尤其涉及一种进气组件和扩散设备。

背景技术

随着全球煤炭、石油、天然气等常规化石能源消耗速度加快，生态环境不断恶化，特别是温室气体排放导致日益严峻的全球气候变化，人类社会的可持续发展已经受到严重威胁。世界各国纷纷制定各自的能源发展战略，以应对常规化石能源资源的有限性和开发利用带来的环境问题。太阳能凭借其可靠性、安全性、广泛性、长寿性、环保性、资源充足性的特点已成为最重要的可再生能源之一，有望成为未来全球电力供应的主要支柱。

在新一轮能源变革过程中，我国光伏产业已成长为具有国际竞争优势的战略新兴产业。然而，光伏产业发展仍面临诸多问题与挑战，转换效率与可靠性是制约光伏产业发展的最大技术障碍，而成本控制与规模化又在经济上形成制约。

太阳能电池片的生产工序中，扩散是非常关键的一步。太阳能电池片的发电的核心部分PN结就是在扩散过程中形成的，扩散后的太阳能电池片的方块电阻是衡量扩散效果好坏的重要指标，所以整个太阳能电池片表面的方块电阻的均匀性至关重要，其直接影响太阳能电池的电性能。扩散步骤中，通常需要将太阳能电池片放置在扩散炉体中，再向炉体内通入特定气体，目前常规的扩散炉体的进气方式分两种：炉口进气和炉尾进气。这两种进气方式都无法保证管内气体均匀分布，真空泵在另一端抽气时管内气流会不稳定，从而导致扩散后方块电阻均匀性较差。为了解决这种问题，一种方法是向炉体内充入大量的所需气体，但这样的方案会造成特定气体的浪费。

另外，随着行业的发展，太阳能电池片的尺寸越来越大，扩散单管所容纳的电池片片数量也越来越多，所以对扩散炉体的尺寸要求也越来越大，尤其是对于210mm及以上尺寸的电池片，需要的扩散炉体的管径和总长度都增加了很多，这导致扩散过程中炉体内的气体均匀性更加难以控制。

因而需要提供一种进气组件和扩散设备，以至少部分地解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种进气组件和扩散设备，以用于太阳能电池片的制造工艺中的扩散步骤。本发明的进气组件包括至少两个进气装置，各个进气装置通过相对于彼此独立的进气管道向炉体输送特定气体，且各个进气装置的进气管道在炉体内的预定送气位置不同，使得特定气体能够在炉体内均匀、稳定地流动，使得生产得到的太阳能电池片具有均匀的方阻。

并且，各个进气装置设置有独立的调节部件来调节各自的输送管道内的气体的特定气体参数，因而在制程中可以根据需要单独地调节每一个进气装置，该操作使得向炉体内输送气体的过程更加可控，从而优化扩散过程。

根据本发明的一个方面，提供了一种进气组件，用于在太阳能电池片的制造过程中的扩散步骤中对容纳有所述太阳能电池片的炉体输送特定气体，所述进气组件包括至少两个进气装置，每一个所述进气装置包括：

输送管道，所述输送管道的首端位于所述炉体外部并与气源相连通，所述输送管道的末端位于所述炉体内的预定送气位置；以及

调节部件，所述调节部件安装在所述输送管道上并构造为能够独立于其他所述进气装置直接或间接地调节所述输送管道内的气体的特定气体参数，

其中，各个所述进气装置的所述输送管道的末端位置之间存在间隔。