[发明专利]光学麦克风

权利要求书

1.一种光学麦克风，其特征在于，包括：

壳体(1)，所述壳体(1)具有内腔以及将所述内腔与外界导通的进声口(11)；

光电模块(2)，设置于所述内腔，包括光线发生器模块(21)和光线检测器模块(22)；

微机电模块(3)，设置于所述内腔并盖合所述进声口(11)，包括光栅(32)和柔性膜(312)；

集成电路模块(4)，设置于所述内腔并与所述光电模块(2)和所述微机电模块(3)电连接；

其中，所述柔性膜(312)和所述光栅(32)沿声波的入射方向(X)间隔且所述柔性膜(312)靠近所述进声口(11)，且所述柔性膜(312)和所述光栅(32)朝向所述光电模块(2)的一侧分别设置有反射层；

所述进声口(11)开设于所述壳体(1)的第一壳壁(12)；

所述光电模块(2)设置于所述壳体(1)的第二壳壁(13)，所述第一壳壁(12)与所述第二壳壁(13)相对；

所述光线发生器模块(21)发出的光线一部分经所述光栅(32)衍射后照射于所述柔性膜(312)并经所述柔性膜(312)反射回所述光线检测器模块(22)，一部分经所述光栅(32)的反射层反射回所述光线检测器模块(22)。

2.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述微机电模块(3)还包括间隔设置于所述光栅(32)的朝向所述光电模块(2)一侧的透镜(34)；

当所述光线发生器模块(21)发出的光线垂直照射于所述透镜(34)，经所述透镜(34)折射后倾斜照射于所述光栅(32)；

当所述光栅(32)或所述柔性膜(312)反射的光线倾斜照射于所述透镜(34)，经所述透镜(34)折射后垂直照射于所述光线检测器模块(22)。

3.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述微机电模块(3)还包括支撑所述柔性膜(312)且与所述第一壳壁(12)固定的支撑臂(313)，所述光栅(32)通过支撑件(33)间隔设置于所述柔性膜(312)远离所述进声口(11)的一侧，所述柔性膜(312)将所述内腔沿声波的入射方向(X)分隔形成前腔和后腔。

4.根据权利要求3所述的光学麦克风，其特征在于，所述柔性膜(312)还设置有将所述前腔和所述后腔导通的进声孔(311)。

5.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光栅(32)包括若干平行间隔设置的狭缝。

6.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光栅(32)由镜片制成，且所述镜片上至少设有一层衍射面(321)。

7.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述集成电路模块(4)设置于所述第二壳壁(13)。

8.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光线发生器模块(21)和所述光线检测器模块(22)设置于不同的管芯。

9.根据权利要求8所述的光学麦克风，其特征在于，所述光线检测器模块(22)包括多个光线检测器。

10.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光线发生器模块(21)和所述光线检测器模块(22)设置于同一个管芯。