[发明专利]纳米结构体阵列、氢检测用元件及氢检测装置

权利要求书

1.纳米结构体阵列，其具备基体、和形成于该基体上的纳米结构体，且所述纳米结构体阵列排列有多个所述纳米结构体，

所述纳米结构体由存在表面等离振子、且具有吸藏及释放氢的性质的金属形成，

所述基体由与氢反应而从导体可逆地向电介质变化的氢响应性材料形成，

通过入射至所述纳米结构体的光而发生表面等离振子共振。

2.如权利要求1所述的纳米结构体阵列，其中，所述纳米结构体由至少包含钯的金属形成。

3.如权利要求1所述的纳米结构体阵列，其中，排列有所述基体与所述纳米结构体的多个层叠体。

4.如权利要求1所述的纳米结构体阵列，其中，所述氢响应性材料包含选自由钇及镧系的元素组成的组中的至少一种。

5.如权利要求1所述的纳米结构体阵列，其中，在所述基体上排列有多个所述纳米结构体。

6.如权利要求5所述的纳米结构体阵列，其中，所述氢响应性材料包含选自由金属三氧化物、金属五氧化物及包含镁的合金组成的组中的至少一种。

7.如权利要求1所述的纳米结构体阵列，其还具备金属层，所述金属层包含选自由金、银、铜、钯及铂组成的组中的至少一种，

所述金属层与所述基体邻接，在所述金属层与所述纳米结构体之间配置有所述基体。

8.氢检测用元件，其为基于表面等离振子共振来检测氢的氢检测用元件，

所述氢检测用元件在基材上具备权利要求1所述的纳米结构体阵列。

9.氢检测装置，其具备：

权利要求8所述的氢检测用元件；

能够对所述氢检测用元件发射光的光源部；

对经由所述氢检测用元件的所述光进行接收的受光部；和

基于所述受光部的受光结果来检测氢的检测部。