[发明专利]一种剥离液废气的处理方法及处理系统

说明书

本发明提供了一种剥离液废气的处理方法，包括以下步骤：a)将剥离液废气依次进行第一次物理拦截和冷凝处理，得到冷凝处理后的混合气；b)将步骤a)得到的冷凝处理后的混合气依次进行第二次物理拦截和深度过滤处理，得到净化后气体。与现有技术相比，本发明提供的处理方法针对剥离液废气的有害成分，采用特定工艺步骤的第一次物理拦截、冷凝处理、第二次物理拦截和深度过滤处理，各步骤相互联系，具有较好的相互作用，从而实现能够在常温常压下处理剥离液废气，且处理效率高、处理效果好。

技术领域

本发明涉及环境保护技术领域，更具体地说，是涉及一种剥离液废气的处理方法及处理系统。

背景技术

随着环境问题的日益严重，环境保护与污染处理已得到了越来越多的关注。环境污染中大气污染是极为严重的，大气污染对于人体、动植物及气候的危害都是极大的。造成大气污染的因素有很多，如工业、生活炉灶与采暖锅炉、交通运输及森林火灾产生的烟雾等，其中工业污染是大气污染的一个重要来源。

随着当今国内外电子行业及光电行业的迅速发展，所用化学药品的种类增多、用量也随之增大，对化学品尾气的处理则至关重要。目前，对于剥离液制程化学尾气的处理流程大致包括：制程机台→冷凝器→风机→烟囱→大气；其中，冷凝处理通常需要在零度以下进行，并且对待处理的气体进行增压。

然而，传统的冷凝分离处理工艺对于剥离液废气的处理效果较差，大量分离出来的液滴被风夹带进入大气，未能有效拦截收集液滴。因此，如何有效地处理剥离液废气，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种剥离液废气的处理方法，本发明提供的处理方法能够在常温常压下处理剥离液废气，且处理效率高、处理效果好。

本发明实施例提供了一种剥离液废气的处理方法，包括以下步骤：

a)将剥离液废气依次进行第一次物理拦截和冷凝处理，得到冷凝处理后的混合气；

b)将步骤a)得到的冷凝处理后的混合气依次进行第二次物理拦截和深度过滤处理，得到净化后气体。

优选的，步骤a)中所述剥离液废气中的有害成分包括乙醇胺和二乙二醇单丁醚；所述乙醇胺的浓度为10mg/m³～1000mg/m³；所述二乙二醇单丁醚的浓度为10mg/m³～1000mg/m³。

优选的，步骤a)中所述第一次物理拦截采用初效滤网；所述初效滤网对粒径10μm以上的杂质的拦截效率在99％以上。

优选的，步骤a)中所述冷凝处理采用冰水盘管；所述冰水盘管的冷凝温度范围为11℃～15℃。

优选的，步骤b)中所述第二次物理拦截采用高效滤网；所述高效滤网对粒径2μm以上的液滴的拦截效率在99％以上。

优选的，所述第二次物理拦截的气体流速为2m/s～4m/s。

优选的，步骤b)中所述深度过滤处理采用烛式滤筒；所述烛式滤筒对液滴的最小拦截粒径为0.3μm。

优选的，所述深度过滤处理的气体流速为0.1m/s～0.2m/s。

本发明实施例还提供了一种剥离液废气的处理系统，包括：处理箱；所述处理箱设有气体进口、气体出口和气体流动动力装置，所述处理箱内部沿气体流动方向依次设有第一次物理拦截单元、冷凝处理单元、第二次物理拦截单元和深度过滤处理单元。