[发明专利]一种激光后向反射器阵列相位精密调整机构及其检测、调整方法

权利要求书

1.一种激光后向反射器阵列相位精密调整机构，其特征在于：包括反射器单元、阵列体和驱动机构，其中，所述反射器单元用于安装单个激光后向反射器；所述阵列体用于组合多个反射器单元，所述驱动机构用于驱动单个反射器单元的位移；

所述反射器单元包括激光后向反射器、套筒、弹簧、套筒后盖；所述激光后向反射器固定于所述套筒大圆筒内，所述弹簧套在套筒小圆筒上，所述套筒后盖安装在所述套筒小圆筒后部，用于限制所述弹簧位移；

所述阵列体用于组合反射器单元，所述阵列体一侧为所述激光后向反射器阵列相位精密调整机构工作面，所述阵列体另一侧为所述反射器单元的弹簧提供支撑面；

所述阵列体与所述驱动机构使用立柱连接、固定。

2.根据权利要求1所述的激光后向反射器阵列相位精密调整机构，其特征在于：所述反射器单元在所述阵列体内阵列方式为正六边形排布、正方形排布、环形排布或圆形排布；所述驱动机构为与所述反射器单元相同阵列方式排布的驱动器。

3.根据权利要求2所述的激光后向反射器阵列相位精密调整机构，其特征在于，所述驱动器为直线电机、测微丝杆、差分调节螺丝或压电陶瓷。

4.一种激光后向反射器阵列相位精密调整机构检测、调整方法，利用权利要求1-3任一项所述激光后向反射器阵列相位精密调整机构，其特征在于，包括：

步骤一、沿直线依次设置的激光光源、分光镜、透镜、激光后向反射器阵列相位精密调整机构；所述激光光源用于产生激光，所述分光镜的第一分光面相对所述激光光源的透射光路上依次设有透镜和激光后向反射器阵列相位精密调整机构，所述分光镜的第二分光面相对所述激光后向反射器阵列相位精密调整机构的反射光路上设有光探测器，所述激光光源位于所述透镜焦点，所述透镜将所述激光光源转化成平行光，所述激光后向反射器阵列相位精密调整机构反射面垂直于所述平行光，用于反射所述透镜产生的平行光；

步骤二、所述激光后向反射器阵列相位精密调整机构用于调整激光后向反射器的前后位置，所述分光镜与所述激光后向反射器相位精密调整机构反射的光束夹角为45度，所述激光后向反射器相位精密调整机构反射的光束通过所述分光镜的第一分光面中心，所述光探测器用于观测激光后向反射器阵列反射光束远场衍射光斑形态。

5.根据权利要求4所述激光后向反射器阵列相位精密调整机构检测、调整方法，其特征在于，所述检测、调整方法包括如下步骤：

步骤S1：启动激光光源，激光光源经过透镜转化为平行光；

步骤S2：平行光到达激光后向反射器阵列相位精密调整机构，进行反射；

步骤S3：反射光束经过透镜进行聚焦；

步骤S4：聚焦光束通过分光镜分成两部分，一分光到达成像镜头汇聚成像；

步骤S5：通过光探测器产生的远场光强分布，调整激光后向反射器相位精密调整机构的反射器单元位置。