[发明专利]ALD硅片上下料装置

权利要求书

1.ALD硅片上下料装置，其特征在于，包括至少四个花篮上下料运输线，每两个所述花篮上下料运输线对应一个舟输送平台，所述舟输送平台和所述花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片，所述舟输送平台与水平面存有夹角，所述夹角介于10°与35°之间，所述花篮上下料运输线末端设有硅片顶出装置，所述硅片顶出装置被配置于将硅片顶升处花篮或承接所述硅片夹爪输送过来的硅片，所述ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手，所述搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内，所述舟输送平台对接所述舟缓存平台。

2.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，所述花篮上下料运输线侧面设有硅片推齐装置，所述硅片推齐装置被配置于规整硅片位置。

3.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，所述硅片夹爪，包括夹爪部、连接架、夹爪旋转动力装置、安装架和解码器，所述夹爪部设置在所述连接架上，所述夹爪旋转动力装置通过带动轴与所述解码器连接，所述安装架与所述带动轴固定连接，所述解码器与所述夹爪旋转动力装置设置在所述连接架两侧，所述旋转轴与所述夹爪旋转动力装置设置在所述安装架上。

4.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，还包括光电感应开关，所述光电开关固定在所述安装架上，所述带动轴上对应光电开关设有挡片。

5.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，所述夹爪旋转动力装置通过联轴器与所述带动轴固定连接。

6.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，所述硅片夹爪还包括升降动力装置和横移动力装置，所述安装架安装在所述升降动力装置的活动端，所述升降装置的固定端安装在所述横移动力装置上。

7.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，所述夹爪旋转动力装置为旋转电机，所述升降动力装置为伺服电机与伺服丝杆，所述横移动力装置为伺服电机与伺服丝杆。