[发明专利]一种基于磁偶极作用的高波速自旋波波导有效
| 申请号： | 202010105836.3 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111293392B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 钟智勇;任志伟;闫健;金立川;文天龙;廖宇龙;唐晓莉;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01P3/02 | 分类号： | H01P3/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁偶极 作用 波速 自旋 波导 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于磁偶极作用的高波速自旋波波导，其特征在于，所述自旋波波导包括基板、形成于基板之上的亚铁磁矩形条带、和位于亚铁磁矩形条带一侧的铁磁矩形条带，所述亚铁磁矩形条带的长度与宽度的比值大于25，厚度为10～50nm，所述铁磁矩形条带的宽度为亚铁磁矩形条带的宽度的1/4～1/2，厚度与亚铁磁矩形条带的厚度相同，所述亚铁磁矩形条带的长度与铁磁矩形条带的长度之差为100nm以上；
所述自旋波波导在制备时，首先在基板上沉积亚铁磁矩形条带，然后通过掩膜工艺在亚铁磁矩形条带的一侧沉积铁磁矩形条带。
2.根据权利要求1所述的基于磁偶极作用的高波速自旋波波导，其特征在于，所述亚铁磁矩形条带的材料为YIG或ZnFe2O4，所述铁磁矩形条带的材料为CoFeB或CMFS。
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