[发明专利]振荡器、电子设备和移动体

说明书

振荡器、电子设备和移动体。提供能够输出高精度的频率信号的振荡器、以及具有所述振荡器的电子设备和移动体。振荡器具有：具有第1内部空间的第1容器，其包含第1基础基板和第1盖；具有第2内部空间的第2容器，其在第1内部空间内固定于第1基础基板，包含第2基础基板和第2盖；振动片，其在第2内部空间内配置于第2基础基板的下表面侧；温度传感器，其配置于第2基础基板的上表面侧；第1电路元件，其包含振荡电路；以及第2电路元件，其在第1内部空间内固定于第1基础基板，包含对振荡电路输出的振荡信号的频率进行控制的频率控制电路。而且，在俯视观察时，第2容器和第2电路元件并排配置。

技术领域

本发明涉及振荡器、电子设备和移动体。

背景技术

在专利文献1中记载了一种振荡器，该振荡器具有：外侧封装；收纳于外侧封装的内侧封装；收纳于内侧封装的振动片；以及收纳于外侧封装且在俯视观察时与内侧封装并排配置的电路元件。此外，在专利文献1的振荡器中，在电路元件中包含有温度传感器，根据温度传感器检测出的温度对输出信号的频率进行校正。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-107862号公报

但是，在专利文献1的振荡器中，包含温度传感器的电路元件位于收纳振动片的内侧封装的外侧，因此，容易产生温度传感器和振动片的温度差，很难高精度地进行输出信号的校正。因此，输出信号的频率精度可能降低。

发明内容

本发明的应用例的振荡器的特征在于，所述振荡器具有：具有第1内部空间的第1容器，其包含第1基础基板和与所述第1基础基板接合的第1盖；具有第2内部空间的第2容器，其在所述第1内部空间内固定于所述第1基础基板，包含第2基础基板和与所述第2基础基板的一个主面侧接合的第2盖；振动片，其在所述第2内部空间内配置于所述第2基础基板的所述一个主面侧；温度传感器，其配置于所述第2基础基板的另一个主面侧；第1电路元件，其配置于所述第2基础基板的另一个主面侧，包含振荡电路，该振荡电路生成使所述振动片振荡并根据所述温度传感器的检测温度进行温度补偿后的振荡信号；以及第2电路元件，其在所述第1内部空间内固定于所述第1基础基板，包含对所述振荡信号的频率进行控制的频率控制电路，在俯视观察时，所述第2容器和所述第2电路元件并排配置。

在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2基础基板具有在所述一个主面开口的第1凹部、以及在所述另一个主面开口的第2凹部，所述振动片配置于所述第1凹部的底部，所述第1电路元件配置于所述第2凹部的底部。

在本发明的应用例的振荡器中，优选所述温度传感器与所述第1电路元件一体。

在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第1基础基板具有第1部分、以及比所述第1部分厚的第2部分，在所述第1部分和所述第2部分中的一方固定有所述第2容器，在另一方固定有所述第2电路元件。

在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器和所述第2电路元件中的厚度较薄的一方固定于所述第2部分，厚度较厚的一方固定于所述第1部分。

在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器具有输出所述温度传感器的输出信号的温度输出端子，所述温度输出端子与所述频率控制电路电连接。

在本发明的应用例的振荡器中，优选所述第2容器具有被施加向所述振荡电路供给的电源电压的电源端子，所述振荡器具有旁通电容器，该旁通电容器收纳于所述第1容器，并与所述电源端子连接。

在本发明的应用例的振荡器中，优选所述振荡器具有收纳于所述第1容器且固定于所述第1基础基板的第1旁通电容器和第2旁通电容器，所述第1旁通电容器的一端和所述第2旁通电容器的一端相互面对配置，所述第1旁通电容器和所述第2旁通电容器的相互面对侧的端部彼此是相同电位。