[发明专利]一种基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置及方法

权利要求书

1.一种基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，包括：

光源，用于发射光信号；

MEMS微振镜，用于将所述光源投射至所述MEMS微振镜的光信号向被测空间的被测物投射，所述被测物反射的第一光信号反馈至光束传感器；所述MEMS微振镜上设置具有不同空间法向角的反射面的微反射镜阵列，用于将所述光源投射至所述微反射镜阵列的光信号反射的第二光信号反馈至所述光束传感器；

光束传感器，用于接收反馈的所述第一光信号和所述第二光信号；

处理器，用于：

提取所述光束传感器接收的所述第一光信号计算第一深度信息；

提取所述光束传感器接收的所述第二光信号计算第二深度信息并根据所述第二深度信息对所述第一深度信息进行标定；

根据所述第二光信号出现的时序和规律，监测所述MEMS微振镜的位置和工作状态。

2.如权利要求1所述的基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，还包括基架和万向架，用于支撑所述MEMS微振镜通过二维偏转振荡将所述光源的光信号向被测空间的所述被测物投射。

3.如权利要求2所述的基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，所述万向架围绕所述基架的中心轴偏转振荡，所述MEMS微振镜围绕所述万向架的中心轴进行偏转振荡。

4.如权利要求3所述的基于微反射镜阵列 的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，所述MEMS微振镜通过第一铰链和第二铰链与所述万向架铰接，所述MEMS微振镜沿着所述第一铰链与所述第二铰的第一连线方向振荡偏转；所述万向架通过第三铰链和第四铰链与所述基架铰接，所述万向架沿着所述第三铰链与所述第四铰链的第二连线方向振荡偏转；所述第一连线方向与所述第二连线方向不平行。

5.如权利要求2所述的基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，所述光源发射周期性的短脉冲光束；所述基架以一定的倾斜角度固定使得所述光源发射的光信号经过所述MEMS微振镜向外投射至被测空间的被测物上，所述被测物反射的第一光信号经相同光路入射至所述光束传感器上。

6.如权利要求2所述的基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，所述处理器还用于获取所述光束传感器接收所述第一光信号时的时间并与所述MEMS微振镜偏转振荡的偏振角的偏振角度状态进行配准。

7.如权利要求1-6任一所述的基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，所述微反射镜阵列以一个微反射镜为中心基准，沿微反射镜左右两侧的各所述微反射镜的法向角从-15°～15°以5°间隔分布，沿前后两侧分布的各所述微反射镜的法向角从35°～55°以5°间隔分布。

8.如权利要求1-6任一所述的基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置，其特征在于，所述光源包括脉冲激光二极管，所述光束传感器包括雪崩光电二极管。

9.一种基于微反射镜阵列监测MEMS微振镜的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：控制光源发射光信号；

S2：控制MEMS微振镜将所述光源投射至所述MEMS微振镜的光信号向被测空间的被测物投射，所述被测物反射的第一光信号反馈至光束传感器；控制设置在所述MEMS微振镜上具有不同空间法向角的反射面的微反射镜阵列将所述光源投射至所述微反射镜阵列的光信号反射的第二光信号反馈至所述光束传感器；

S3：控制所述光束传感器接收反馈的所述第一光信号和所述第二光信号；

S4：提取所述光束传感器接收的所述第一光信号计算第一深度信息；提取所述光束传感器接收的所述第二光信号计算第二深度信息并根据所述第二深度信息对所述第一深度信息进行标定；根据所述第二光信号出现的时序和规律，监测所述MEMS微振镜的位置和工作状态。

10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求9所述方法的步骤。