[发明专利]一种多工位抛光压力反馈补偿机构

权利要求书

1.一种多工位抛光压力反馈补偿机构，其特征是包括工作台、设在工作台上的若干工作单元，所述工作单元包括设在工作台上的滑轨、沿滑轨移动的第一滑台和第二滑台、驱动第二滑台移动的驱动装置、设在第一滑台上设有工件夹具且可旋转的工件轴和驱动工件轴旋转的旋转驱动装置，所述第一滑台和第二滑台之间通过压力传感器连接，各工作单元的压力传感器和驱动装置与压力反馈系统电连接。

2.根据权利要求1所述的多工位抛光压力反馈补偿机构，其特征是所述驱动装置包括伺服电机、连接伺服电机和第二滑台的丝杆副，丝杆副通过联轴器与伺服电机的转轴连接。

3.根据权利要求1或2所述的多工位抛光压力反馈补偿机构，其特征是所述旋转驱动装置包括旋转伺服电机、设在第一滑台上与旋转伺服电机传动连接的旋转平台，所述工件轴设在旋转平台上。