[发明专利]一种器件失效点的定位系统及方法

说明书

本发明公开了一种器件失效点的定位系统及方法，该方法包括：开封装置，用于对待进行失效点定位的器件进行开封，以得到开封后的样品器件；偏置电源，用于对开封后的样品器件施加偏置电压；位置确定装置，用于在对开封后的样品器件施加偏置电压的情况下，对已施加偏置电压的样品器件的失效点的位置进行确定；位置显示装置，用于在已确定样品器件的失效点的位置的情况下，对已确定的器件的失效点的位置进行显示。本发明的方案，可以解决对失效器件的失效点进行定位的难度较大的问题，达到降低对失效器件的失效点进行定位的难度的效果。

技术领域

本发明属于电子电路技术领域，具体涉及一种器件失效点的定位系统及方法，尤其涉及一种半导体器件的短路失效定位系统及方法。

背景技术

上至航天海运，下抵衣食住行，半导体器件的应用无处不在。随着半导体器件使用范围和数量的推广，越来越多的器件失效也被暴露出来，其中短路是半导体器件的主要失效方式之一；在对失效的半导体器件进行分析的过程中，失效点的定位是其中必不可少的一环，但对失效点定位的难度也比较大。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的目的在于，针对上述缺陷，提供一种器件失效点的定位系统及方法，以解决对失效器件的失效点进行定位的难度较大的问题，达到降低对失效器件的失效点进行定位的难度的效果。

本发明提供一种器件失效点的定位系统，包括：开封装置、偏置电源、位置确定装置和位置显示装置；其中，开封装置，用于对待进行失效点定位的器件进行开封，以得到开封后的样品器件；偏置电源，用于对开封后的样品器件施加偏置电压；位置确定装置，用于在对开封后的样品器件施加偏置电压的情况下，对已施加偏置电压的样品器件的失效点的位置进行确定；位置显示装置，用于在已确定样品器件的失效点的位置的情况下，对已确定的器件的失效点的位置进行显示。

可选地，开封装置对待进行失效点定位的器件进行开封，包括：采用设定功率、设定波长和/或设定频率的激光，轰击器件的塑封层，直至器件的金属键合线露出时停止激光轰击；在停止激光轰击的情况下，腐蚀掉器件的芯片上方多余的塑封材料，以使器件的芯片完全暴露出来；在器件的芯片完全暴露出来的情况下，对已完全暴露芯片的器件进行清洗和干燥处理，以得到开封处理后的样品器件。

可选地，偏置电源对开封后的样品器件施加偏置电压，包括：按设定往复次数，对开封处理后的样品器件往复施加偏置电压；其中，在一次偏置电压的施加过程中，先按设定增大方式将偏置电压由第一设定值增大到第二设定值，再按设定减小方式将偏置电压由第二设定值降低到第一设定值。

可选地，位置确定装置对已施加偏置电压的样品器件的失效点的位置进行确定，包括：在对开封处理后的样品器件往复施加偏置电压之后，采用红外热成像仪收集设定张热点分布图，以得到样品器件的失效点的热点分布图；其中，在样品器件的失效点的热点分布图中，样品器件的失效点处的第一温度高于样品器件的其它点处的第二温度。

可选地，位置显示装置对已确定的器件的失效点的位置进行显示，包括：基于样品器件的失效点的热点分布图，采用设定分辨率的显微镜系统，将样品器件的失效点的热点分布图与样品器件的光学图片进行叠加出来，以显示样品器件的失效点。

与上述器件失效点的定位系统相匹配，本发明另一方面提供一种器件失效点的定位方法，包括：通过开封装置，对待进行失效点定位的器件进行开封，以得到开封后的样品器件；通过偏置电源，对开封后的样品器件施加偏置电压；通过位置确定装置，在对开封后的样品器件施加偏置电压的情况下，对已施加偏置电压的样品器件的失效点的位置进行确定；通过位置显示装置，在已确定样品器件的失效点的位置的情况下，对已确定的器件的失效点的位置进行显示。