[发明专利]一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置

权利要求书

1.一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置，其特征在于：包括上层进气圆盘（10）、中层匀气圆盘（20）、下层匀气圆盘（30），其中：

三个所述圆盘依次上、中、下相叠，所述上层进气圆盘（10）与所述下层匀气圆盘（30）的接触面之间具有凸块-凹槽配合连接结构，同时所述上层进气圆盘（10）与所述下层匀气圆盘（30）的接触面之间通过螺丝与螺孔配合固定连接；

三个所述圆盘分中心环、次内环、外环三圈匀气，三个所述圆盘上中心环轴向形成的区域为中心匀气，三个所述圆盘上次内环轴向形成的区域为中间匀气，三个所述圆盘上外环轴向形成的区域为边缘匀气；

还包括若干圆形进气孔柱（40），若干所述圆形进气孔柱（40）用于给三个所述圆盘的中心环、次内环、外环区域供气；

所述中心匀气、所述中间匀气以及所述边缘匀气均同轴。

2.根据权利要求1所述的一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置，其特征在于：还包括圆环形浅槽a（11）和圆环形浅槽b（12），所述圆环形浅槽a（11）与所述圆环形浅槽b（12）均设于所述上层进气圆盘（10）靠近所述中层匀气圆盘（20）的一面上；所述上层进气圆盘（10）上的中心环区域与次内环区域以所述圆环形浅槽a（11）为界，次内环区域与外环区域以所述圆环形浅槽b（12）为界。

3.根据权利要求2所述的一种可分区控制进气流量及比例的匀气装置，其特征在于：所述圆环形浅槽a（11）直径大于所述圆环形浅槽b（12）直径，所述圆环形浅槽a（11）与所述圆环形浅槽b（12）直径范围均为50～300mm，深度均为3mm，宽度均为2mm。

4.根据权利要求1所述的一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置，其特征在于：所述上层进气圆盘（10）中心环区域圆心处设有一个所述圆形进气孔柱（40），次内环区域和外环区域分别设有四个所述圆形进气孔柱（40）。

5.根据权利要求2所述的一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置，其特征在于：还包括圆环形隔墙a（21）、圆环形隔墙b（22）以及侧墙a（23），所述圆环形隔墙a（21）、所述圆环形隔墙b（22）以及所述侧墙a（23）设在所述中层匀气圆盘（20）靠近所述上层进气圆盘（10）的一面上，所述侧墙a（23）垂直设于所述中层匀气圆盘（20）外圆周处；所述圆环形隔墙a（21）和所述圆环形隔墙b（22）分别嵌入所述圆环形浅槽a（11）和所述圆环形浅槽b（12）内。

6.根据权利要求5所述的一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置，其特征在于：还包括圆环形浅槽c（24）和圆环形浅槽d（25），所述圆环形浅槽c（24）与所述圆环形浅槽d（25）设在所述中层匀气圆盘（20）靠近所述下层匀气圆盘（30）的一面上，所述圆环形隔墙a（21）和所述圆环形隔墙b（22）分别与所述圆环形浅槽c（24）和所述圆环形浅槽d（25）一一对应设置；所述中层匀气圆盘（20）上的中心环区域与次内环区域以所述圆环形隔墙a（21）和所述圆环形浅槽c（24）为界，次内环区域与外环区域以所述圆环形隔墙b（22）和所述圆环形浅槽d（25）为界。

7.根据权利要求6所述的一种可分区控制进气流量及比例的匀气装置，其特征在于：所述圆环形隔墙a（21）直径小于所述圆环形隔墙b（22）直径，所述侧墙a（23）外径为210～310mm，所述圆环形浅槽c（24）直径小于所述圆环形浅槽d（25）直径；所述圆环形隔墙a（21）、所述圆环形隔墙b（22）、所述圆环形浅槽c（24）以及所述圆环形浅槽d（25）直径范围均为50～300mm，高度范围均为18～24mm。