[发明专利]一种粗糙度测量装置及方法

权利要求书

1.一种粗糙度测量装置，其特征在于，包括：

载物台，用于放置待测物；

施压模块，所述施压模块朝向待测物的一端安装有粗糙度传感器，用于使所述粗糙度传感器以恒定压力与待测物接触；

第一移动模块，所述施压模块通过所述第一移动模块安装在所述载物台上，所述第一移动模块用于驱动所述施压模块以恒定速度沿第一方向往复运动；

数据处理模块，所述数据处理模块与所述粗糙度传感器连接，用于拟合所述粗糙度传感器的信号曲线。

2.根据权利要求1所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，还包括显示模块，所述显示模块与所述数据处理模块连接，所述显示模块用于显示所述信号曲线。

3.根据权利要求1所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，所述施压模块包括固定部、第二移动模块和移动部，所述固定部与所述第一移动模块连接，所述粗糙度传感器安装在所述移动部，所述移动部通过所述第二移动模块滑动连接在所述固定部上，所述第二移动模块驱动所述移动部沿第二方向往复运动。

4.根据权利要求3所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，所述第一方向位于所述载物台的表面所在的平面内，所述第二方向垂直于所述第一方向。

5.根据权利要求1所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，所述施压模块沿第一方向往复运动的恒定速度的大小范围为1mm/min至1000mm/min。

6.根据权利要求5所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，所述粗糙度传感器与待测物间的所述恒定压力的大小范围为0.01mN至2N。

7.根据权利要求1所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，所述粗糙度传感器受到挤压时，电阻变化。

8.根据权利要求7所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，所述粗糙度传感器受到挤压时，压缩形变量与电阻成反比关系。

9.根据权利要求8所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，所述粗糙度传感器由柔性材料制成。

10.一种粗糙度测量方法，应用如权利要求1至9任一项所述的一种粗糙度测量装置，其特征在于，包括以下步骤：

使粗糙度传感器以恒定压力与待测物接触；

使粗糙度传感器以恒定速度沿第一方向往复运动；

拟合粗糙度传感器在往复运动过程中的信号曲线。