[发明专利]气体供给单元以及气体供给方法

权利要求书

1.一种气体供给单元，其选择性地得到控制在第1温度的第1气体或者作为开始化学反应的反应开始温度的第2温度比所述第1温度低的第2气体的供给，并将所述第1气体或所述第2气体供给至腔室，该气体供给单元的特征在于，具有：

基座板；

上部设备，其支承在所述基座板上，具有供所述第1气体和所述第2气体选择性地流动的流路；

多个中间块，它们分离地配设在所述基座板与所述上部设备之间，具有与所述上部设备的所述流路相连的流路，而且在所述基座板与所述上部设备之间形成空间部，所述空间部形成在分离地配设的中间块之间；

第1加热器，其将所述上部设备加热至所述第1温度；以及

冷却构件，其对所述空间部供给冷却空气，将所述上部设备冷却至所述第2温度以下。

2.根据权利要求1所述的气体供给单元，其特征在于，

所述第1加热器为面状加热器，

所述冷却构件配置在所述第1加热器与所述上部设备之间，是分别与所述第1加热器和所述上部设备面接触的铝制冷却板构件。

3.根据权利要求2所述的气体供给单元，其特征在于，

所述冷却板构件中沿所述第1气体在所述气体供给单元中流动的方向形成有对所述空间部供给所述冷却空气的冷却流路。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的气体供给单元，其特征在于，

进而具有以抵接至所述上部设备的方式配置的面状的第2加热器，

所述空间部具有从所述冷却构件得到所述冷却空气的供给的第1开口部和相反侧的第2开口部，所述第2开口部被所述第2加热器堵住。

5.一种气体供给方法，其特征在于，具有：

第1气体供给工序，即，在使用加热器将选择性地流动控制在第1温度的第1气体和作为开始化学反应的反应开始温度的第2温度比所述第1温度低的第2气体的上部设备加热后的状态下，经由所述上部设备将所述第1气体供给至腔室；

冷却工序，即，对通过所述上部设备与支承所述上部设备的基座板之间配设的中间块、而在所述上部设备与所述基座板之间形成的空间部供给冷却空气，冷却所述上部设备；以及

第2气体供给工序，即，在通过所述冷却工序使得所述上部设备的温度变成所述第2温度以下之后，将所述第2气体供给至所述腔室。